特征
EUV双色镜
为了有效利用高次谐波产生的EUV光，需要分离与EUV光同轴传播的高强度泵浦光。
NTT-AT的 EUV 二向色镜反射宽带 EUV 光，并防止可见光或近红外泵浦光的反射，与薄膜滤光片和布鲁斯特角光束分离器相比具有高损伤阈值。
除了 800 nm 增透的标准产品外，我们还提供基于所需波长、反射镜尺寸和入射角的定制产品。我们还提供用于梁耦合的双面涂层产品。
NTT-AT的 EUV 二向色镜反射宽带 EUV 光，并防止可见光或近红外泵浦光的反射，与薄膜滤光片和布鲁斯特角光束分离器相比具有高损伤阈值。
除了 800 nm 增透的标准产品外，我们还提供基于所需波长、反射镜尺寸和入射角的定制产品。我们还提供用于梁耦合的双面涂层产品。
标准品
DM 20/800 -2002的EUV反射剖面
DM 30/800 -2002反射配置文件
标准产品规格如下。
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| 斜入射角 | 12度 | |
| 偏振 | p偏振 | |
| 防反射 | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| EUV反射率 | 60% @ 20 nm | 40% @ 30 nm |
| 基板种类 |
石英
|
|
| 尺寸 | 直径50.8 mm,厚5.08 mm | |
| 背面 | 砂面修整 | |
定制设计示例
波长 3 nm 的二向色镜（倾斜入射角 3 度）。抗反射：<30% @1.5 μm。
根据您的要求进行涂层设计。
| 典型的定制规格 | |
|---|---|
| 最大基板长度 | 300 mm |
|
高反射带
|
3 nm - 120 nm |
| 防反射波长 | 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1.5 μm |
| 偏振 |
s偏振光， p偏振光
|
| 背面 | 带涂层，砂面抛光 |
资料下载
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (英语 white paper) | 348KB | 下载 |
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