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EUV双色镜

提供将EUV光与可见光和近红外光分离的分色镜。

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特征

图像
EUV双色镜
为了有效利用高次谐波产生的EUV光,需要分离与EUV光同轴传播的高强度泵浦光。
NTT-AT的 EUV 二向色镜反射宽带 EUV 光,并防止可见光或近红外泵浦光的反射,与薄膜滤光片和布鲁斯特角光束分离器相比具有高损伤阈值。
除了 800 nm 增透的标准产品外,我们还提供基于所需波长、反射镜尺寸和入射角的定制产品。我们还提供用于梁耦合的双面涂层产品。

标准品

图表
      DM 20/800 -2002的EUV反射剖面
 
图表
      DM 30/800 -2002反射配置文件
 

标准产品规格如下。

  DM-20/800-2002 DM-30/800-2002
斜入射角 12度
偏振 p偏振
防反射 <2% @ 800nm +/- 50nm
EUV反射率 60% @ 20 nm 40% @ 30 nm
基板种类
石英
尺寸 直径50.8 mm,厚5.08 mm
背面 砂面修整

定制设计示例

图表
波长 3 nm 的二向色镜(倾斜入射角 3 度)。抗反射:<30% @1.5 μm。


根据您的要求进行涂层设计。

  典型的定制规格
最大基板长度 300 mm
反射带
3 nm - 120 nm
防反射波长 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1.5 μm
偏振
s偏振光, p偏振光
背面 带涂层,砂面抛光

资料下载

High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (英语 white paper) 348KB

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