特征
Mo/Si多层膜镜
我们提供可高效反射光子能量为 10 eV - 1 keV（波长 120 nm - 1.2 nm）的 EUV 光的 EUV 反射镜。这种能带反射镜，也称为软 X 射线或 XUV 光，广泛用于 EUV 光刻等工业应用、使用高次谐波的超高速物理和化学研究、天体物理学应用、和软X射线等离子体观测。它是
多层膜反射镜主要用于直入射，单层膜反射镜主要用于斜入射。
多层膜反射镜主要用于直入射，单层膜反射镜主要用于斜入射。
设计示例
Mo/Si多层膜镜，入射角0度
Ru单层膜镜，入射角80度
代表性规格
我们会根据您的要求进行基板形状设计和涂层设计。
| 代表性规格 | |
|---|---|
| 最大大小 | 直径3 mm -450 mm |
| 镜像形状 | 平面、凹面、圆柱面、抛物面、旋转椭圆面、环形面 |
| 多层膜材料 | Ru/B4C、Mo/Si、Zr/AlSi、SiC/Mg、W/B4C |
| 单层薄膜材料 | Ru、B4C、C、Ni、Au |
资料下载
| Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (英语 white paper) | 615KB | 下载 |
|---|
EUV多层膜镜设计实例
20 eV -150 eV (波长60 nm -8 nm) 用多层膜镜的设计实例。
Ru/B4C 多层反射镜 (150 eV - 100 eV)
150 eV用
反射率:33%，带宽:3.1 eV
反射率:31%，带宽:1.9 eV
120 eV用
反射率:40%，带宽:2.2 eV
反射率:40%，带宽:4.5 eV
100 eV用
反射率:41%，带宽:3.3 eV
反射率:41%，带宽:6.6 eV
Mo/Si多层膜镜 (95 eV -70 eV)
90 eV用
反射率:68%，带宽:3.5 eV
反射率:67%，带宽:6.1 eV
80 eV用
反射率:61%，带宽:3.1 eV
反射率:60%，带宽:7.7 eV
Zr/AlSi多层膜镜 (70 eV -50 eV)
70 eV用
反射率:59%，带宽:2.8 eV
反射率:59%，带宽:4.4 eV
60 eV用
反射率:49%，带宽:3.3 eV
反射率:49%，带宽:6.3 eV
50 eV用
反射率:32%，带宽:4.9 eV
反射率:32%，带宽:9.6 eV
SiC/Mg多层反射镜 (45 eV -20 eV)
40 eV用
反射率:48%，带宽:2.5 eV
反射率:48%，带宽:3.0 eV
30 eV用
反射率:44%，带宽:3.1 eV
反射率:45%，带宽:3.8 eV
20 eV用
反射率:41%，带宽:3.1 eV
反射率:46%
EUV多层膜反射镜标准品规格
| 标准型号 | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a)多层膜材料 | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b)反射类型 | H:高反射率，N:窄带，B:宽带 |
| (c)入射角 | 0度-60度 |
| (d)中心能量 | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b)基板尺寸 | 1025：1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
| (c)基板类型 | F:平面，C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
EUV单层膜镜设计实例
10 eV -1 keV (波长120 nm -1.2 nm) 单层膜镜的设计示例。Au镜
Ni镜
Ru镜
SiC镜
B4C镜
EUV单层膜镜标准品规格
| 标准型号 | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| (a)涂层材料 | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b)基板尺寸 | 1025：1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
| (c)基板类型 | F:平面，C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
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