特征
Mo/Si多层膜镜
我们提供可高效反射光子能量为 10 eV - 1 keV（波长 120 nm - 1.2 nm）的 EUV 光的 EUV 反射镜。这种能带反射镜，也称为软 X 射线或 XUV 光，广泛用于 EUV 光刻等工业应用、使用高次谐波的超高速物理和化学研究、天体物理学应用、和软X射线等离子体观测。它是
多层膜反射镜主要用于直入射，单层膜反射镜主要用于斜入射。
多层膜反射镜主要用于直入射，单层膜反射镜主要用于斜入射。
设计示例
Mo/Si多层膜镜，入射角0度
Ru单层膜镜，入射角80度
代表性规格
我们会根据您的要求进行基板形状设计和涂层设计。
| 代表性规格 | |
|---|---|
| 最大大小 | 直径3 mm -450 mm |
| 镜像形状 | 平面、凹面、圆柱面、抛物面、旋转椭圆面、环形面 |
| 多层膜材料 | Ru/B4C、Mo/Si、Zr/AlSi、SiC/Mg、W/B4C |
| 单层薄膜材料 | Ru、B4C、C、Ni、Au |
资料下载
| Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (英语 white paper) | 615KB | 下载 |
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