ホーム > EUV・X線光学部品 > EUV光学部品 > EUVミラー / 軟X線ミラー

EUV镜/软X线镜

我们提供EUV用的多层膜镜和单层膜镜。

询问

特征

画像
Mo/Si多层膜镜
我们提供可高效反射光子能量为 10 eV - 1 keV(波长 120 nm - 1.2 nm)的 EUV 光的 EUV 反射镜。这种能带反射镜,也称为软 X 射线或 XUV 光,广泛用于 EUV 光刻等工业应用、使用高次谐波的超高速物理和化学研究、天体物理学应用、和软X射线等离子体观测。它是
多层膜反射镜主要用于直入射,单层膜反射镜主要用于斜入射。

设计示例

グラフ
      Mo/Si多层膜镜,入射角0度
 
グラフ
      Ru单层膜镜,入射角80度
 

代表性规格

我们会根据您的要求进行基板形状设计和涂层设计。

  代表性规格
最大大小 直径3 mm -450 mm
镜像形状 平面、凹面、圆柱面、抛物面、旋转椭圆面、环形面
多层膜材料 Ru/B4C、Mo/Si、Zr/AlSi、SiC/Mg、W/B4C
单层薄膜材料 Ru、B4C、C、Ni、Au

资料下载

Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (英语 white paper) 615KB
 

EUV多层膜镜设计实例

20 eV -150 eV (波长60 nm -8 nm) 用多层膜镜的设计实例。

Ru/B4C 多层反射镜 (150 eV - 100 eV)

150 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:33%,带宽:3.1 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:31%,带宽:1.9 eV

120 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:40%,带宽:2.2 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:40%,带宽:4.5 eV

100 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:41%,带宽:3.3 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:41%,带宽:6.6 eV

Mo/Si多层膜镜 (95 eV -70 eV)

90 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:68%,带宽:3.5 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:67%,带宽:6.1 eV

80 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:61%,带宽:3.1 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:60%,带宽:7.7 eV

Zr/AlSi多层膜镜 (70 eV -50 eV)

70 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:59%,带宽:2.8 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:59%,带宽:4.4 eV

60 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:49%,带宽:3.3 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:49%,带宽:6.3 eV

50 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:32%,带宽:4.9 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:32%,带宽:9.6 eV

SiC/Mg多层反射镜 (45 eV -20 eV)

40 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:48%,带宽:2.5 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:48%,带宽:3.0 eV

30 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:44%,带宽:3.1 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:45%,带宽:3.8 eV

20 eV用

グラフ AOI=0 deg.
反射率:41%,带宽:3.1 eV
グラフ AOI=45 deg.
反射率:46%

EUV多层膜反射镜标准品规格

标准型号 EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f)
(a)多层膜材料 Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
(b)反射类型 H:高反射率,N:窄带,B:宽带
(c)入射角 0度-60度
(d)中心能量 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm)
(b)基板尺寸 1025:1 英寸直径 x 0.25 英寸厚
0525:0.5" 直径 x 0.25" 厚
(c)基板类型 F:平面,C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm)
 

EUV单层膜镜设计实例

10 eV -1 keV (波长120 nm -1.2 nm) 单层膜镜的设计示例。

Au镜

グラフ AOI=75 deg.
 
グラフ AOI=85 deg.
 

Ni镜

グラフ AOI=75 deg.
 
グラフ AOI=85 deg.
 

Ru镜

グラフ AOI=75 deg.
 
グラフ AOI=85 deg.
 

SiC镜

グラフ AOI=75 deg.
 
グラフ AOI=85 deg.
 

B4C镜

グラフ AOI=75 deg.
 
グラフ AOI=85 deg.
 

EUV单层膜镜标准品规格

标准型号 EUVSM-(a)-(b)(c)
(a)涂层材料 Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b)基板尺寸 1025:1 英寸直径 x 0.25 英寸厚
0525:0.5" 直径 x 0.25" 厚
(c)基板类型 F:平面,C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm)

请咨询

咨询报价等,请随意咨询。

询问

产品列表

特写

服务列表

特写

解决问题的建议一览表

光纤连接器

特写

目录列表

特写