特征
EUV分束器外观图片
使用EUV分束器 (也称为EUV半反射镜) ，您可以将EUV光与可见光和紫外光一样分为透射光和反射光。该光学元件由自持式Mo/Si多层膜组成，用于构建干涉仪和波束监视器。根据您的要求，我们定制并提供13.5 nm波长范围内的透射/透射比和入射角。
设计示例
波长13.5 nm, s偏振光用光束分离器的反射及透过特性
入射角45度·1:1分割
入射角45度，高透过率
入射角45度，高反射率
入射角6度·1:1分割
标准规格
我们可以根据您的要求定制透射/反射比、入射角、中心波长和尺寸。我们还提供安装在金属支架上的状态。
| 标准规格 | |
|---|---|
| 光束分离器 | 7x7mm、自立型Mo/Si多层膜 |
| 框部 | 14 mm×14 mm、0.5 mm厚Si底板 |
| 入射角 | 45度，6度 |
| 中心波长 | 13.5 nm |
| 反射和透射特性 | 1:1,高反射，高透射 |
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