EUV环形反射镜

掠入射环形镜用于需要宽带高阶谐波聚焦的实验系统，例如阿秒科学。NTT-AT的环形镜因其形状和可根据其需求定制的各种涂层而被许多大学和研究机构的研究人员使用。
直接入射环形镜可用于球面镜的像差问题存在的实验系统中。根据您的使用条件，您可以选择高反射率、宽带或窄带 EUV 多层镀膜。