EUV单层膜镜设计实例

Au镜

Ni镜

Ru镜

SiC镜

B₄C镜

标准规格

标准型号	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a)涂层材料	Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b)基板尺寸	1025：1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525：0.5" 直径 x 0.25" 厚
(c)基板类型	F:平面，C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm)

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