Au镜
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![图表AOI=85 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_Au-85.png)
Ni镜
![图表AOI=75 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_Ni-75.png)
![图表AOI=85 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_Ni-85.png)
Ru镜
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SiC镜
![图表AOI=75 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_SiC-75.png)
![图表AOI=85 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_SiC-85.png)
B4C镜
![图表AOI=75 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_B4C-75.png)
![图表AOI=85 deg.](https://keytech.ntt-at.co.jp/xray/images/p3015_B4C-85.png)
标准规格
标准型号 | EUVSM-(a)-(b)(c) |
---|---|
(a)涂层材料 | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
(b)基板尺寸 | 1025:1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525:0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
(c)基板类型 | F:平面,C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
请咨询
咨询报价等,请随意咨询。
标准型号 | EUVSM-(a)-(b)(c) |
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(a)涂层材料 | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
(b)基板尺寸 | 1025:1 英寸直径 x 0.25 英寸厚 0525:0.5" 直径 x 0.25" 厚 |
(c)基板类型 | F:平面,C:凹面 (曲率半径100 mm -3000 mm) |
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