SiC膜SiN膜

这是一种 SiC 或 SiN 薄膜膜，用作 X 射线分析和电子束分析（SEM、TEM）的标准样品架。

它可以根据您的需求进行定制，如下所示。

• 用作薄膜靶或分束器的金属薄膜形成。
• 形成用于光束成型元件的狭缝和针孔。
• 用于作为软X线或电子束透过元件的辅助50 nm厚膜 (SiN)

标准规格

	SiC	SiN (绝缘)
材质	非晶或多晶	非晶SiN
厚度	100 nm ~ 2 μm	50 nm ~ 2 μm
窗口尺寸	0.1 mm~10 mm见方 (视厚度而定)
切割芯片尺寸	2.1 mm~20 mm见方
框架厚度	0.2 mm ~ 0.625mm
基板	直径4英寸硅基板
选项	金属涂层，形成狭缝/针孔

用途

• X射线、电子束、EUV分析用样品固定器
• 化学、生物分析用液槽窗材
• 真空窗
• 透射型X射线光学元件用支撑件

生产实例