促进客户研发，实现创意!!
敝公司硅波导制造服务的特点
根据客户的设计制作硅波导
我们在先进加工技术支持的硅线波导平台上根据客户设计实现超精细光路。
*请准备图纸（GDSⅡ格式或DXF格式）。
实现硅波导与光纤阵列之间的低损耗连接
光斑尺寸转换器，可实现与光纤等的低损耗连接，使客户能够进行高精度评估。配备
满足多种设计需求
我们提供满足客户多样化需求的选项，例如光学性能的精确控制以及与不同类型材料（如聚合物）的复合材料。
硅波导的制作→特性评价→到光纤安装的无缝对应
除了制造硅波导外，我们还可以无缝响应客户的要求，从评估光学特性到将光纤连接到芯片。
1.硅细波导-基本原型芯片生产示例-
在基于硅微细波导的平台上，根据客户的设计实现超微细光电路。
| 波导芯径 | 400~500 nm宽x 220 nm厚 |
|---|---|
| 环形谐振腔 | 150纳米或更高 |
| 波导区域 | 5mm×5mm |
| SS转换芯径 | 3μm×3μm |
| SS转换波导间隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
2.低损耗连接:点大小转换器
通过在波导末端附加点大小转换，可以以低损耗连接光纤和激光器。(1.5 [dB/connection] )
Spot大小转换器 (SSC) 结构
将光纤阵列连接到硅芯片的示例
将光纤阵列连接到硅芯片的示例
光纤阵列连接结构
光纤阵列连接结构
3.选项加工实例
- 温控加热器及附加布线
- 高精度控制折射率和控制透射波长。
- 功能材料介绍
- 极化材料等功能材料的引入。
温控极小加热器
| 应用实例 |
|
○光开关、精密波长滤光片 |
| 客户需求 |
|
○通过局部加热精确控制光学特性 |
| 解决方案 |
|
了不易破损的加热器。1使用高熔点金属Ta薄膜，实现 2 通过高精度形状加工实现的超细加热器 3 通过低电阻金线布线实现仅加热特定部分 |
石英 (覆层) 上的Ta加热器模式加工例
微小加热器剖面图
Ta加热器图案 (加工示例)
SEM图像:Ta加热器模式 (图 (1) )
应用实例
应用实例
功能材料介绍
使用各种功能材料可以形成覆盖。| 应用实例 |
|
○传感器、调制器 |
| 客户需求 |
|
○ Si波导与功能材料的杂化 |
| 解决方案 |
|
1 Si波导部分暴露结构的实现 2通过组合干法蚀刻和湿法蚀刻应用不损坏Si波导的加工 3 实现不部分形成覆层的工艺 |
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