Liste der MEMS/mikrogefertigten Produkte
Kleiner Blutflusssensor
Der periphere Blutfluss spiegelt die Bewegung des Kreislaufsystems und den mentalen Zustand wider, daher wird erwartet, dass er zur Gesundheitsförderung in Bezug auf die Durchblutung, medizinische Unterstützung und Unterhaltungsbereiche angewendet wird. Diese Änderung des peripheren Blutflusses kann mithilfe eines tragbaren kompakten Blutflusssensors in Echtzeit auf einem Smartphone angezeigt werden.
Hochempfindlicher Beschleunigungsmesser
Dies ist ein kapazitiver MEMS-Beschleunigungssensor (Microelectromechanical Systems), der mit unserer einzigartigen Metalllaminierungstechnologie hergestellt wird. Im Vergleich zu allgemeinen Silizium-MEMS-Beschleunigungsmessern kann das Rauschverhalten des Geräts selbst erheblich reduziert werden.
Form für Nanoimprint
Wir liefern feine Muster im Nanometerbereich, die in Forschungs- und Entwicklungsbereichen wie Nanotechnologie, Optik und Biotechnologie verwendet werden. Wir haben begonnen, eine ultrafeine Form zur Auflösungsbewertung mit einer minimalen Linienbreite von 45 nm als Standardtyp (Modell: NIM-PHL45) zu einem erschwinglichen Preis zu verkaufen.
Membranverarbeitetes Produkt
Unsere Membran hat eine starke mechanische Festigkeit und realisiert durch präzise Spannungskontrolle einen sehr glatten, selbsttragenden Film. Je nach Kundenwunsch kann das Material aus SiC/SiN gewählt werden und es kann ein breites Spektrum an Foliendicken/-größen verarbeitet werden. Auch Anwendungsbeispiele werden vorgestellt.
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