SiC-Membran/SiN-Membran

Hierbei handelt es sich um eine SiC- oder SiN-Dünnfilmmembran, die als Standardprobenhalter für die Röntgenanalyse und Elektronenstrahlanalyse (REM, TEM) verwendet wird.

Es kann wie unten gezeigt an Ihre Bedürfnisse angepasst werden.

• Bildung eines dünnen Metallfilms zur Verwendung als Dünnfilmtarget oder Strahlteiler.
• Schlitz-/Nadellochbildung zur Verwendung als Strahlformungselement.
• Unter 50 nm dicke Membran (SiN) zur Verwendung als Übertragungselement für weiche Röntgen- oder Elektronenstrahlen

Standardproduktspezifikationen

	SiC	SiN (isolierend)
Material	Amorph oder polykristallin	Amorphes SiN
Dicke	100 nm - 2 μm	50 nm - 2 μm
Fenstergröße	0,1 mm bis 10 mm im Quadrat (abhängig von der Foliendicke)
Spangröße schneiden	2.1 mm - 20 mm 角
Rahmenstärke	0.2 mm - 0.625mm
Substrat	Durchmesser 4 Zoll Si-Substrat
Möglichkeit	Metallbeschichtung, Schlitz-/Lochbildung

Verwendungszweck

• Probenhalter für Röntgen-, Elektronenstrahl- und EUV-Analyse
• Flüssiges Zellfenstermaterial für chemische und biologische Analysen
• Vakuumfenster
• Trägermaterial für ein optisches Röntgenelement vom Transmissionstyp

Produktionsbeispiel