EUV-Spiegel / Weicher Röntgenspiegel |. EUV-Optik, Röntgenoptik |. NTT-AT Produkteinführungsseite

Besonderheit

Mo/Si-Mehrschichtspiegel

Wir bieten EUV-Spiegel, die EUV-Licht mit einer Photonenenergie von 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm) mit hoher Effizienz reflektieren. Dieser Energiebandspiegel, auch weiches Röntgen- oder XUV-Licht genannt, wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, wie z. und Beobachtung von weichem Röntgenplasma
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.

Gestaltungsbeispiel

Mo/Si-Mehrschichtspiegel, Einfallswinkel 0 Grad

Ru-Einschichtspiegel, Einfallswinkel 80 Grad

Sehen Sie sich Beispiele für mehrschichtige Spiegeldesigns in jedem Energiebereich an ↓
Sehen Sie sich Beispiele für einschichtige Spiegeldesigns in jedem Energiebereich an ↓

Typische Spezifikationen

Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.

	Typische Spezifikationen
Maximale Größe	Durchmesser 3 mm - 450 mm
Spiegelform	Plan, konkav, zylindrisch, parabolisch, kugelförmig, toroidal
mehrschichtiges Material	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B₄C
Einlagiges Material	Ru, B₄C, C, Ni, Au

Materialien herunterladen

Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (Englisch, Whitepaper)	615KB	Download

Designbeispiel für EUV-Mehrschichtspiegel

Dies ist ein Designbeispiel eines Mehrschichtspiegels für 20 eV – 150 eV (Wellenlänge 60 nm – 8 nm).

Ru/B₄C Multilayer-Spiegel (150 eV - 100 eV)

für 150eV

Reflexionsgrad: 33 %, Bandbreite: 3,1 eV

Reflexionsgrad: 31 %, Bandbreite: 1,9 eV

für 120 eV

Reflexionsgrad: 40 %, Bandbreite: 2,2 eV

Reflexionsgrad: 40 %, Bandbreite: 4,5 eV

für 100eV

Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 3,3 eV

Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 6,6 eV

Mo/Si-Multilayer-Spiegel (95 eV - 70 eV)

für 90eV

Reflexionsgrad: 68 %, Bandbreite: 3,5 eV

Reflexionsgrad: 67 %, Bandbreite: 6,1 eV

für 80eV

Reflexionsgrad: 61 %, Bandbreite: 3,1 eV

Reflexionsgrad: 60 %, Bandbreite: 7,7 eV

Zr/AlSi Multilayer-Spiegel (70 eV - 50 eV)

für 70eV

Reflexionsgrad: 59 %, Bandbreite: 2,8 eV

Reflexionsgrad: 59 %, Bandbreite: 4,4 eV

für 60eV

Reflexionsgrad: 49 %, Bandbreite: 3,3 eV

Reflexionsgrad: 49 %, Bandbreite: 6,3 eV

für 50eV

Reflexionsgrad: 32 %, Bandbreite: 4,9 eV

Reflexionsgrad: 32 %, Bandbreite: 9,6 eV

SiC/Mg-Multilayer-Spiegel (45 eV - 20 eV)

für 40eV

Reflexionsgrad: 48 %, Bandbreite: 2,5 eV

Reflexionsgrad: 48 %, Bandbreite: 3,0 eV

für 30eV

Reflexionsgrad: 44 %, Bandbreite: 3,1 eV

Reflexionsgrad: 45 %, Bandbreite: 3,8 eV

für 20eV

Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 3,1 eV

Reflexionsgrad: 46 %

Standardproduktspezifikationen für EUV-Mehrschichtspiegel

Standardmodell	EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f)
(a) Mehrschichtiges Folienmaterial	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
(b) Reflektierender Typ	H: Hohes Reflexionsvermögen, N: Schmalband, B: Breitband
(c) Einfallswinkel	0 Grad - 60 Grad
(d) zentrale Energie	20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm)
(b) Substratgröße	1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke
(c) Substrattyp	F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm)

Designbeispiel für einen EUV-Einschichtfilmspiegel

Dies ist ein Designbeispiel eines einschichtigen Spiegels für 10 eV – 1 keV (Wellenlänge 120 nm – 1,2 nm).

Au-Spiegel

Ni-Spiegel

Ru-Spiegel

SiC-Spiegel

B₄C-Spiegel

Standardproduktspezifikationen für EUV-Einschichtspiegel

Standardmodell	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Beschichtungsmaterial	Au, Ni, Ru, B₄C, SiC
(b) Substratgröße	1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke
(c) Substrattyp	F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm)

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EUV-Spiegel / weicher Röntgenspiegel

Wir bieten mehrschichtige Spiegel und einschichtige Spiegel für EUV.