Besonderheit
Mo/Si-Mehrschichtspiegel
Wir bieten EUV-Spiegel, die EUV-Licht mit einer Photonenenergie von 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm) mit hoher Effizienz reflektieren. Dieser Energiebandspiegel, auch weiches Röntgen- oder XUV-Licht genannt, wird in einer Vielzahl von Bereichen eingesetzt, wie z. und Beobachtung von weichem Röntgenplasma
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Mehrschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für direkten Einfall verwendet, und einschichtige Filmspiegel werden hauptsächlich für schrägen Einfall verwendet.
Gestaltungsbeispiel
Mo/Si-Mehrschichtspiegel, Einfallswinkel 0 Grad
Ru-Einschichtspiegel, Einfallswinkel 80 Grad
- Sehen Sie sich Beispiele für mehrschichtige Spiegeldesigns in jedem Energiebereich an ↓
- Sehen Sie sich Beispiele für einschichtige Spiegeldesigns in jedem Energiebereich an ↓
Typische Spezifikationen
Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Maximale Größe | Durchmesser 3 mm - 450 mm |
| Spiegelform | Plan, konkav, zylindrisch, parabolisch, kugelförmig, toroidal |
| mehrschichtiges Material | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B4C |
| Einlagiges Material | Ru, B4C, C, Ni, Au |
Materialien herunterladen
| Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (Englisch, Whitepaper) | 615KB | Download |
|---|
Designbeispiel für EUV-Mehrschichtspiegel
Dies ist ein Designbeispiel eines Mehrschichtspiegels für 20 eV – 150 eV (Wellenlänge 60 nm – 8 nm).
Ru/B4C Multilayer-Spiegel (150 eV - 100 eV)
für 150eV
Reflexionsgrad: 33 %, Bandbreite: 3,1 eV
Reflexionsgrad: 31 %, Bandbreite: 1,9 eV
für 120 eV
Reflexionsgrad: 40 %, Bandbreite: 2,2 eV
Reflexionsgrad: 40 %, Bandbreite: 4,5 eV
für 100eV
Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 3,3 eV
Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 6,6 eV
Mo/Si-Multilayer-Spiegel (95 eV - 70 eV)
für 90eV
Reflexionsgrad: 68 %, Bandbreite: 3,5 eV
Reflexionsgrad: 67 %, Bandbreite: 6,1 eV
für 80eV
Reflexionsgrad: 61 %, Bandbreite: 3,1 eV
Reflexionsgrad: 60 %, Bandbreite: 7,7 eV
Zr/AlSi Multilayer-Spiegel (70 eV - 50 eV)
für 70eV
Reflexionsgrad: 59 %, Bandbreite: 2,8 eV
Reflexionsgrad: 59 %, Bandbreite: 4,4 eV
für 60eV
Reflexionsgrad: 49 %, Bandbreite: 3,3 eV
Reflexionsgrad: 49 %, Bandbreite: 6,3 eV
für 50eV
Reflexionsgrad: 32 %, Bandbreite: 4,9 eV
Reflexionsgrad: 32 %, Bandbreite: 9,6 eV
SiC/Mg-Multilayer-Spiegel (45 eV - 20 eV)
für 40eV
Reflexionsgrad: 48 %, Bandbreite: 2,5 eV
Reflexionsgrad: 48 %, Bandbreite: 3,0 eV
für 30eV
Reflexionsgrad: 44 %, Bandbreite: 3,1 eV
Reflexionsgrad: 45 %, Bandbreite: 3,8 eV
für 20eV
Reflexionsgrad: 41 %, Bandbreite: 3,1 eV
Reflexionsgrad: 46 %
Standardproduktspezifikationen für EUV-Mehrschichtspiegel
| Standardmodell | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Mehrschichtiges Folienmaterial | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Reflektierender Typ | H: Hohes Reflexionsvermögen, N: Schmalband, B: Breitband |
| (c) Einfallswinkel | 0 Grad - 60 Grad |
| (d) zentrale Energie | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
Designbeispiel für einen EUV-Einschichtfilmspiegel
Dies ist ein Designbeispiel eines einschichtigen Spiegels für 10 eV – 1 keV (Wellenlänge 120 nm – 1,2 nm).Au-Spiegel
Ni-Spiegel
Ru-Spiegel
SiC-Spiegel
B4C-Spiegel
Standardproduktspezifikationen für EUV-Einschichtspiegel
| Standardmodell | EUVSM-(a)-(b)(c) |
|---|---|
| (a) Beschichtungsmaterial | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
| (b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
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