Design und Produktion von optischen EUV-/Röntgensystemen

Besonderheit

Cassegrain EUV-Teleskop

Das optische System zur Fokussierung und Abbildung von EUV-Licht und Röntgenstrahlen, die kürzere Wellenlängen als sichtbares Licht haben, hängt von der Art der Lichtquelle und dem zu beobachtenden Objekt ab. Es wird eine Art Teleskop verwendet.
Zusätzlich zu diesen verschiedenen optischen Systemen bieten wir auch optische Systeme und Elemente für die Spektroskopie, Strahlformung und Strahlteilung, Auswerteelemente und Einstellmechanismen für verschiedene optische Elemente an. Wir bieten auch EUV- und weiche Röntgenspektrometer von HP Spectroscopy für den Einsatz in Japan an.

Produktionsbeispiel

Mo/Si-Mehrschicht-Konkavspiegel und Konvexspiegel

Teleskopeinheit (hinten) und Kondensordurchmessereinheit (vorne)

Dabei handelt es sich um ein kondensierendes oder abbildendes optisches System, das einen direkt einfallenden konkaven Spiegel und einen konvexen Spiegel kombiniert. Jeder Spiegel ist je nach verwendeter Wellenlänge mit einer Mehrschichtbeschichtung oder einer Einzelschichtbeschichtung beschichtet.
 

Konkaver Spiegel für das optische K-B-Spiegelsystem

K-B-Spiegeloptiksystemeinheit

Hierbei handelt es sich um ein kondensierendes optisches System, das zwei konkave Spiegel mit schrägem Einfall kombiniert. Jeder Spiegel ist mit einer Einzelschichtbeschichtung versehen, um eine Totalreflexion zu gewährleisten, die der verwendeten Wellenlänge entspricht.

Typische optische Elemente

Wir stellen optische Elemente, Verstellmechanismen, Vakuumbehälter usw. entsprechend Ihren Anforderungen zur Verfügung.

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