EUV / X線光学システム設計・製作

特徴

カセグレン式EUV望遠鏡

可視光と比較して波長の短いEUV光やX線の集光・結像には、用いられる光学系は光源の種類や観測対象によって シュワルツシルト集光光学系やK-Bミラー集光光学系、カセグレン式望遠鏡などが用いられています。
これら各種光学系の提供の他、分光・ビーム形成・ビーム分割用の光学系や光学素子、評価用素子、各種光学素子の調整機構など をご提供いたします。また、日本国内向けにはHP Spectroscopy社製EUV・軟X線用分光器もご提供いたします。

製作例

Mo/Si多層膜凹面ミラーと凸面ミラー

望遠鏡ユニット（奥）と集光径ユニット（手前）

直入射の凹面ミラーと凸面ミラーを組み合わせた集光あるいは結像光学系です。 各ミラーへは、ご使用波長に合わせた多層膜コーティングあるいは単層膜コーティングをいたします。
 

K-Bミラー光学系用凹面ミラー

K-Bミラー光学系ユニット

2枚の斜入射の凹面ミラーを組み合わせた集光光学系です。 各ミラーへは、ご使用波長に合わせた全反射用単層膜コーティングをいたします。

代表的な光学素子

ご要望に応じた光学素子・調整機構・真空容器などをご提供いたします。

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