Besonderheit
Beugungsgitter-REM-Bild
Wir bieten Beugungsphotonen vom Transmissionstyp mit einer Schablonenstruktur an, die selbst im VUV-Bereich, EUV-Bereich und im weichen Röntgenbereich, wo die Materialabsorption groß ist, eine hohe Beugungseffizienz bieten.
Es kann für Experimente zur Harmonischenspektroskopie höherer Ordnung, Inspektions-/Bewertungselemente im EUV-Bereich, Röntgenplasmaspektroskopie usw. verwendet werden. Neben eindimensionalen Standardgittern bieten wir auch Sonderanfertigungen nach Kundenwunsch an.
Es kann für Experimente zur Harmonischenspektroskopie höherer Ordnung, Inspektions-/Bewertungselemente im EUV-Bereich, Röntgenplasmaspektroskopie usw. verwendet werden. Neben eindimensionalen Standardgittern bieten wir auch Sonderanfertigungen nach Kundenwunsch an.
Gestaltungsbeispiel
Beugungseffizienz eines Ta/SiN-Doppelschichtgitters
Beugungseffizienz des SiN-Gitters
Standardproduktspezifikationen
| Struktur | Ta/SiN 2-Schicht-Typ | SiN-Typ |
|---|---|---|
| Größe des Beugungsgitters | 2 mm x 2 mm | |
| Anzahl der Zeilen | 100 line/mm - 2400 line/mm | |
| Strahl | 500 nm Breite, 50 µm Abstand (senkrecht zum Gitter) | |
| Beugungsgittermaterial | Ta (100 nm) / SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
| Chips | 10 mm x 10 mm x 0,625 mm dick, Si | |
Konfiguration des Transmissionsgitters. (a) Si-Rahmen, (b) Transmissionsgitter
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