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EUV-Toroidspiegel

Wir bieten hochpräzise Toroidspiegel für EUV-, VUV- und weiche Röntgenbereiche.

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Besonderheit

Bild
Toroidspiegel, B4C-Beschichtung
Toroidspiegel mit streifendem Einfall werden in experimentellen Systemen verwendet, die eine breitbandige harmonische Fokussierung höherer Ordnung erfordern, wie beispielsweise in der Attosekundenwissenschaft. Die toroidalen Spiegel von NTT-AT werden von Forschern an vielen Universitäten und Forschungsinstituten aufgrund ihrer Formen und verschiedenen Beschichtungen verwendet, die an ihre Bedürfnisse angepasst werden können.
Direkt einfallende Toroidspiegel können in experimentellen Systemen verwendet werden, bei denen Aberrationen bei sphärischen Spiegeln ein Problem darstellen. Abhängig von Ihren Einsatzbedingungen können Sie zwischen hochreflektierenden, breitbandigen oder schmalbandigen EUV-Mehrschichtbeschichtungen wählen.

Produktionsbeispiel

Produktionsbeispielbild
Länge 200 mm x Breite 30 mm, Au-Beschichtung,
Schräger Einfallswinkel 3 Grad
Produktionsbeispielbild
Länge 140 mm x Breite 30 mm, Pt-Beschichtung,
Schräger Einfallswinkel 2 Grad

Beschichtungsbeispiel

Graph
      Mo/Si-Mehrschichtbeschichtung, Einfallswinkel 45 Grad
 
Graph
      Au-Einzelschichtbeschichtung, schräger Einfallswinkel 3 Grad
 

Typische Spezifikationen

Die Substratform und -beschichtung gestalten wir nach Ihren Wünschen.

  Typische Spezifikationen
Maximale Spiegellänge 200 mm
minimaler Krümmungsradius 10 mm
Genauigkeit der Brettform λ/4 PV @633 nm
Mehrschichtiges Beschichtungsmaterial Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
Einschichtiges Beschichtungsmaterial Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C

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Bitte zögern Sie nicht, uns für Anfragen wie einen Kostenvoranschlag zu kontaktieren.

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