Au-Spiegel
Ni-Spiegel
Ru-Spiegel
SiC-Spiegel
B4C-Spiegel
Standardproduktspezifikationen
Standardmodell | EUVSM-(a)-(b)(c) |
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(a) Beschichtungsmaterial | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
(b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
(c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
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