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Designbeispiel für einen EUV-Einschichtfilmspiegel

Dies ist ein Designbeispiel eines einschichtigen Filmspiegels für 10 eV - 1 keV (Wellenlänge 120 nm - 1,2 nm).

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Au-Spiegel

Diagramm AOI = 75 Grad.
 
Grafik AOI=85 Grad.
 

Ni-Spiegel

Diagramm AOI = 75 Grad.
 
Grafik AOI=85 Grad.
 

Ru-Spiegel

Diagramm AOI = 75 Grad.
 
Grafik AOI=85 Grad.
 

SiC-Spiegel

Diagramm AOI = 75 Grad.
 
Grafik AOI=85 Grad.
 

B4C-Spiegel

Diagramm AOI = 75 Grad.
 
Grafik AOI=85 Grad.
 

Standardproduktspezifikationen

Standardmodell EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Beschichtungsmaterial Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b) Substratgröße 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke
0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke
(c) Substrattyp F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm)

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