Ru/B4C Multilayer-Spiegel (150 eV - 100 eV)
für 150eV
Reflexionsgrad 33 %, Bandbreite 3,1 eV
Reflexionsgrad 31 %, Bandbreite 1,9 eV
für 120 eV
Reflexionsgrad 40 %, Bandbreite 2,2 eV
Reflexionsgrad 40 %, Bandbreite 4,5 eV
für 100eV
Reflexionsgrad 41 %, Bandbreite 3,3 eV
Reflexionsgrad 41 %, Bandbreite 6,6 eV
Mo/Si-Multilayer-Spiegel (95 eV - 70 eV)
für 90eV
68 % Reflexion, 3,5 eV Bandbreite
67 % Reflexion, 6,1 eV Bandbreite
für 80eV
Reflexionsgrad 61 %, Bandbreite 3,1 eV
60 % Reflexion, 7,7 eV Bandbreite
Zr/AlSi Multilayer-Spiegel (70 eV - 50 eV)
für 70eV
Reflexionsgrad 59 %, Bandbreite 2,8 eV
Reflexionsgrad 59 %, Bandbreite 4,4 eV
für 60eV
Reflexionsgrad 49 %, Bandbreite 3,3 eV
Reflexionsgrad 49 %, Bandbreite 6,3 eV
für 50eV
Reflexionsgrad 32 %, Bandbreite 4,9 eV
Reflexionsgrad 32 %, Bandbreite 9,6 eV
SiC/Mg-Multilayer-Spiegel (45 eV - 20 eV)
für 40eV
Reflexionsgrad 48 %, Bandbreite 2,5 eV
Reflexionsgrad 48 %, Bandbreite 3,0 eV
für 30eV
Reflexionsgrad 44 %, Bandbreite 3,1 eV
45 % Reflexion, 3,8 eV Bandbreite
für 20eV
Reflexionsgrad 41 %, Bandbreite 3,1 eV
46 % Reflexionsvermögen
Standardproduktspezifikationen
| Standardmodell | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Mehrschichtiges Folienmaterial | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Reflektierender Typ | H: Hohes Reflexionsvermögen, N: Schmalband, B: Breitband |
| (c) Einfallswinkel | 0 Grad - 60 Grad |
| (d) zentrale Energie | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b) Substratgröße | 1025: 1 Zoll Durchmesser x 0,25 Zoll Dicke 0525: 0,5" Durchmesser x 0,25" Dicke |
| (c) Substrattyp | F: flach, C: konkav (Krümmungsradius 100 mm - 3000 mm) |
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