Besonderheit
SEM-Bild der Fresnel-Zonenplatte
Im Röntgenbereich, wo der Brechungsindex des Materials etwa 1 beträgt, ist es im Gegensatz zu sichtbarem Licht nicht möglich, das Licht mit einer konvexen Linse zu fokussieren, daher wird als Fokussierung eine Fresnel-Zonenplatte (FZP) verwendet Element.
Das FZP von NTT-AT verwendet ein Ta-Muster mit hoher Vertikalität als absorbierendes Material und eine SiC-Membran mit hoher Röntgenstrahlungsbeständigkeit als Haltematerial und wird häufig in Synchrotronstrahlungsanlagen eingesetzt.
Das FZP von NTT-AT verwendet ein Ta-Muster mit hoher Vertikalität als absorbierendes Material und eine SiC-Membran mit hoher Röntgenstrahlungsbeständigkeit als Haltematerial und wird häufig in Synchrotronstrahlungsanlagen eingesetzt.
Produktionsbeispiel
Ultrafeines FZP: Durchmesser 250 µm, Ta-Filmdicke 200 nm, Breite der äußersten Zone 50 nm, SiC-Membrandicke 2,0 µm
FZP mit hohem Aspekt: Durchmesser 100 µm, Dicke des Ta-Films 2 µm, Breite der äußersten Zone 200 nm, Dicke der SiN-Membran 2,0 µm
Typische Spezifikationen
Wir entwerfen entsprechend Ihrer gewünschten Energie, Brennweite, Auflösung usw.
| Typische Spezifikationen | |
|---|---|
| Mindestbreite und Seitenverhältnis der äußersten Zone | 50 nm (Seitenverhältnis 4), 200 nm (Seitenverhältnis 10) |
| maximaler Durchmesser | 2 mm |
| Membranmaterial | SiC oder SiN, 0,2 µm - 2 µm |
| Absorbermaterial | Ta, 0.1 µm - 2.0 µm |
| Außenmaße des Si-Rahmens | 10 mm x 10 mm x 1 mm Dicke |
(a) Röntgen-FZP-Abschnitt (b) SiC- oder SiN-Membran (c) Si-Substrat (d) Ta-Absorber
Optionale Teile
Mittelbalkenanschlag
Absorber: Au, 30 µm dick, Membran: SiC
Absorber: Au, 30 µm dick, Membran: SiC
Lochkamera
Material: Pt, 100 µm dick, Lochdurchmesser: 50 µm
Material: Pt, 100 µm dick, Lochdurchmesser: 50 µm
Bitte kontaktieren Sie uns
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