MEMS、微细加工产品

由于外周血流量反映了循环系统的运动和精神状态，因此有望应用于促进血液循环，医疗支持，娱乐领域等的健康。通过可穿戴的小型血流传感器，您可以在智能手机上实时查看此外周血流的变化。

采用自主开发的金属积层技术制作的静电容量型MEMS (Microelectromechanical Systems) 加速度传感器。与普通硅MEMS加速度传感器相比，可以大大降低器件本身的噪声性能。

我们提供纳米技术、光学、生物等研究开发领域所应用的纳米级微细图案。作为价格实惠的标准型号 (型号:NIM-PHL45) ，开始销售最小线宽为45 nm的分辨率评价用极微细模具。

敝公司膜通过精致的应力控制，实现了机械强度强、非常光滑的自立膜。根据客户需求，材质可选SiC/SiN,并支持广泛的膜厚/尺寸。我们还介绍了应用示例。