Membrana SiC/membrana SiN

Se trata de una membrana de película fina de SiC o SiN que se utiliza como soporte de muestra estándar para análisis de rayos X y análisis de haz de electrones (SEM, TEM).

Se puede personalizar para satisfacer sus necesidades como se muestra a continuación.

• Formación de película delgada de metal para usar como objetivo de película delgada o divisor de haz.
• Formación de hendiduras/orificios para uso como elemento formador de vigas.
• Membrana de espesor inferior a 50 nm (SiN) para uso como elemento de transmisión de rayos X blandos o haces de electrones

Especificaciones estándar del producto

	Sic	SiN (aislante)
Material	Amorfo o policristalino	SiN amorfo
espesor	100 nm - 2 μm	50 nm - 2 μm
tamaño de ventana	0,1 mm a 10 mm cuadrados (dependiendo del espesor de la película)
Tamaño de la viruta de corte	Cuadrados de 2,1 mm a 20 mm
espesor del marco	0.2 mm - 0.625mm
sustrato	Sustrato de Si de 4 pulgadas de diámetro
opción	Recubrimiento metálico, formación de hendiduras/orificios

Uso

• Portamuestras para análisis de rayos X, haz de electrones y EUV
• Material de ventana de celda líquida para análisis químicos y biológicos.
• ventana de vacío
• Material de soporte para elemento óptico de rayos X tipo transmisión.

Ejemplo de producción