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Guía de ondas de silicio (fotónica de silicio)

Servicios de fundición que respaldan la investigación y el desarrollo de vanguardia

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Características de nuestro servicio de fabricación de guías de ondas de silicio

Fabricación de guías de ondas de silicio basadas en diseños del cliente.

Realizamos circuitos ópticos ultrafinos basados en diseños de clientes en una plataforma basada en guías de onda de alambre de Si respaldada por tecnología de procesamiento avanzada.
*Prepare un plano (formato GDSⅡ o formato DXF).

Logra conexiones de baja pérdida entre guías de ondas de silicio y matrices de fibra óptica

convertidor de tamaño de punto, permite una conexión de baja pérdida con una fibra óptica, etc., lo que permite a los clientes realizar evaluaciones de alta precisión.Equipado con un

Capaz de satisfacer diversas necesidades de diseño.

Ofrecemos opciones para satisfacer las diversas necesidades de nuestros clientes, como el control preciso de las propiedades ópticas y los compuestos con diferentes tipos de materiales como los polímeros.

Soporte continuo de la fabricación de guías de ondas de silicio → evaluación de características → montaje de fibra óptica

Además de fabricar guías de ondas de silicio, podemos responder sin problemas a las solicitudes de los clientes, desde la evaluación de las características ópticas hasta la conexión de fibras ópticas a los chips.


1. Guía de ondas de alambre de Si - ejemplo de producción de chips prototipo básicos -

Realizamos circuitos ópticos ultrafinos basados en diseños de clientes en plataformas basadas en guías de ondas de alambre de Si.
ベーシックなシリコン導波路回路の試作チップ製作例
Ejemplo de especificación
Diámetro del núcleo de la guía de ondas 400-500nm ancho x 220nm espesor
hueco del resonador de anillo 150 nm o más
región de la guía de ondas 5 mm x 5 mm
Diámetro del núcleo de conversión SS 3 μm × 3 μm
Espaciado de la guía de ondas del convertidor SS 50 μm o más
Tamaño de corte de viruta 15 mm x 5,6 mm
Compatible con guías de ondas pasivas y circuitos ópticos

2. Conexión de baja pérdida: convertidor de tamaño de punto

Al agregar conversión de tamaño de punto al final de la guía de ondas, se puede conectar a una fibra óptica o láser con baja pérdida. (1,5[dB/conexión])
スポットサイズ変換器
Estructura del convertidor de tamaño de punto (SSC)

Ejemplo de conexión de una matriz de fibra óptica a un chip Si

光ファイバアレイをシリコンチップに接続した例
Ejemplo de conexión de una matriz de fibra óptica a un chip Si

Estructura de conexión de matriz de fibra

ファイバアレイ接続構造
Estructura de conexión de matriz de fibra

3. Ejemplo de procesamiento opcional

Calefactor para control de temperatura y cableado adicional
Controla la longitud de onda de transmisión controlando el índice de refracción con alta precisión.
Introducción de materiales funcionales.
Introducción de materiales funcionales como los materiales polarizados.

Calentador Ta mínimo para control de temperatura

Ejemplo de aplicación

Interruptor óptico, filtro de longitud de onda de precisión

Solicitud del cliente

Control preciso de las propiedades ópticas mediante calentamiento local

solución

una película delgada Ta de metal de alto punto de fusión.1Logra un calentador que es difícil de romper mediante el uso de

2   Calentador ultrafino realizado mediante procesamiento de forma de alta precisión

3   El calentamiento solo de piezas específicas se realiza mediante el enrutamiento con cableado de Au de baja resistencia

Ejemplo de procesamiento de patrón de calentador Ta en cuarzo (revestido)


Vista transversal del microcalentador
Vista transversal del microcalentador

石英(オーバークラッド)上のTaヒーターパタン加工例
Patrón de calentador Ta (ejemplo de procesamiento)
SEMイメージ
Imagen SEM: patrón de calentador Ta (Fig. 1)

Ejemplo de aplicación

Ejemplo de aplicación
Ejemplo de aplicación

Introducción de materiales funcionales.

El revestimiento exterior se puede formar usando varios materiales funcionales.
Ejemplo de aplicación

Sensores, moduladores

Solicitud del cliente

Hibridación de guías de ondas de Si y materiales funcionales

solución

1 Realización de la estructura parcialmente expuesta de la guía de ondas de Si

2 Aplicar un procesamiento que no dañe la guía de ondas de Si combinando grabado en seco y grabado en húmedo

3   Realización de un proceso que no forma parcialmente un revestimiento


Imagen de procesamiento

Consulta

Consulta sobre guías de ondas de silicio
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