Espejo EUV / Espejo de rayos X suave

rasgo

Espejo multicapa Mo/Si

Proporcionamos espejos EUV que reflejan la luz EUV con energía fotónica de 10 eV - 1 keV (longitud de onda 120 nm - 1,2 nm) con alta eficiencia. Este espejo de banda de energía, también llamado luz de rayos X suave o luz XUV, se utiliza en una amplia gama de campos, como aplicaciones industriales como litografía EUV, investigación física y química de ultra alta velocidad que utiliza armónicos de alto orden, aplicaciones de astrofísica, y observación de plasma de rayos X blandos.
Los espejos de película multicapa se utilizan principalmente para la incidencia directa, y los espejos de película de una sola capa se utilizan principalmente para la incidencia oblicua.

Ejemplo de diseño

Espejo multicapa Mo/Si, ángulo de incidencia 0 grados

Espejo de una sola capa Ru, ángulo de incidencia de 80 grados

Ver ejemplos de diseños de espejos multicapa en cada rango de energía ↓
Ver ejemplos de diseños de espejos monocapa en cada rango de energía ↓

Especificaciones típicas

Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.

	Especificaciones típicas
Talla máxima	Diámetro 3 mm - 450 mm
forma de espejo	Plano, Cóncavo, Cilíndrico, Parabólico, Esferoidal, Toroidal
material multicapa	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B₄C
material de una sola capa	Ru, B₄C, C, Ni, Au

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Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (inglés, white paper)	615KB	descargar

Ejemplo de diseño de espejo multicapa EUV

Este es un ejemplo de diseño de un espejo multicapa para 20 eV - 150 eV (longitud de onda 60 nm - 8 nm).

Espejo multicapa Ru/B₄C (150 eV - 100 eV)

para 150 eV

Reflectancia: 33%, Ancho de banda: 3,1 eV

Reflectancia: 31%, Ancho de banda: 1,9 eV

para 120 eV

Reflectancia: 40%, Ancho de banda: 2,2 eV

Reflectancia: 40%, Ancho de banda: 4,5 eV

para 100 eV

Reflectancia: 41%, Ancho de banda: 3,3 eV

Reflectancia: 41%, Ancho de banda: 6,6 eV

Espejo multicapa Mo/Si (95 eV - 70 eV)

para 90 eV

Reflectancia: 68%, Ancho de banda: 3,5 eV

Reflectancia: 67%, Ancho de banda: 6,1 eV

para 80 eV

Reflectancia: 61%, Ancho de banda: 3,1 eV

Reflectancia: 60%, Ancho de banda: 7,7 eV

Espejo multicapa Zr/AlSi (70 eV - 50 eV)

para 70 eV

Reflectancia: 59%, Ancho de banda: 2,8 eV

Reflectancia: 59%, Ancho de banda: 4,4 eV

para 60 eV

Reflectancia: 49%, Ancho de banda: 3,3 eV

Reflectancia: 49%, Ancho de banda: 6,3 eV

para 50 eV

Reflectancia: 32%, Ancho de banda: 4,9 eV

Reflectancia: 32%, Ancho de banda: 9,6 eV

Espejo multicapa SiC/Mg (45 eV - 20 eV)

para 40 eV

Reflectancia: 48%, Ancho de banda: 2,5 eV

Reflectancia: 48%, Ancho de banda: 3,0 eV

para 30 eV

Reflectancia: 44%, Ancho de banda: 3,1 eV

Reflectancia: 45%, Ancho de banda: 3,8 eV

para 20 eV

Reflectancia: 41%, Ancho de banda: 3,1 eV

Reflectancia: 46%

Especificaciones del producto estándar de espejo multicapa EUV

Modelo estandar	EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f)
(a) Material de película multicapa	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
(b) Tipo reflexivo	H: alta reflectividad, N: banda estrecha, B: banda ancha
(c) Ángulo de incidencia	0 grados - 60 grados
(d) energía central	20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm)
(b) Tamaño del sustrato	1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor 0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor
(c) Tipo de sustrato	F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm)

Ejemplo de diseño de espejo de película de una sola capa EUV

Este es un ejemplo de diseño de un espejo de una sola capa para 10 eV - 1 keV (longitud de onda 120 nm - 1,2 nm).

Au espejo

Ni espejo

Ru espejo

SiC espejo

B₄C espejo

Especificaciones del producto estándar del espejo de una sola capa EUV

Modelo estandar	EUVSM-(a)-(b)(c)
a) Material de revestimiento	Au, Ni, Ru, B₄C, SiC
(b) Tamaño del sustrato	1025: 1 pulgada de diámetro x 0,25 pulgadas de espesor 0525: 0,5" de diámetro x 0,25" de espesor
(c) Tipo de sustrato	F: plano, C: cóncavo (radio de curvatura 100 mm - 3000 mm)

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Proporcionamos espejos multicapa y espejos de una sola capa para EUV.