rasgo
Fotografía exterior del divisor de haz EUV
Mediante el uso de un divisor de haz EUV, que también se denomina medio espejo EUV, la luz EUV se puede dividir en componentes transmisivos y reflectantes de la misma manera que la luz visible y la luz ultravioleta. Este elemento óptico, que consta de una película multicapa de Mo/Si independiente, se utiliza en la construcción de interferómetros y como monitor de haz. Previa solicitud, podemos personalizar la relación de transmisión/transmisión, el ángulo de incidencia, etc. en la región de longitud de onda de 13,5 nm.
ejemplo de diseño
Longitud de onda 13,5 nm, características de reflexión/transmisión del divisor de haz para luz polarizada en s
Ángulo de incidencia 45 grados, división 1:1
Ángulo de incidencia 45 grados, alta transmitancia
Ángulo de incidencia 45 grados, alta reflectancia
Ángulo de incidencia 6 grados, división 1:1
Especificaciones estándar
Personalizaremos la relación de transmisión/reflexión, el ángulo incidente, la longitud de onda central y el tamaño de acuerdo con su solicitud. También lo ofrecemos montado en un soporte de metal.
| Especificaciones estándar | |
|---|---|
| Parte del divisor de haz | 7 x 7 mm, autoportante Mo/Si multicapa |
| parte del marco | Sustrato de Si de 14 mm x 14 mm, 0,5 mm de espesor |
| Ángulo de incidencia | 45 grados, 6 grados |
| longitud de onda central | 13,5nm |
| Características de reflexión/transmisión | 1:1, alta reflexión, alta transmisión |
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