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Diseño y producción de sistemas ópticos EUV/rayos X.

Diseñamos y fabricamos sistemas ópticos para enfocar y obtener imágenes de rayos ultravioleta extremo (EUV) y rayos X.

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rasgo

ミラーを両手に持った画像
Telescopio Cassegrain EUV
El sistema óptico utilizado para enfocar y obtener imágenes de la luz EUV y los rayos X, que tienen longitudes de onda más cortas que la luz visible, depende del tipo de fuente de luz y del objeto a observar. Se utiliza un tipo de telescopio.
Además de proporcionar estos diversos sistemas ópticos, también proporcionamos sistemas y elementos ópticos para espectroscopia, formación y división de haces, elementos de evaluación y mecanismos de ajuste para diversos elementos ópticos. También ofrecemos espectrómetros EUV y de rayos X blandos de HP Spectroscope para su uso en Japón.

Ejemplo de producción

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Espejo cóncavo multicapa Mo/Si y espejo convexo
制作例画像
Unidad de telescopio (atrás) y unidad de diámetro de condensación (delantera)

Se trata de un sistema óptico de condensación o de formación de imágenes que combina un espejo cóncavo de incidencia directa y un espejo convexo. Cada espejo está recubierto con un recubrimiento multicapa o con un recubrimiento de una sola capa dependiendo de la longitud de onda utilizada.
 

制作例画像
Espejo cóncavo para sistema óptico de espejo K-B
制作例画像
Unidad de sistema óptico de espejo K-B

Se trata de un sistema óptico de condensación que combina dos espejos cóncavos con incidencia oblicua. Cada espejo está recubierto con una capa única para una reflexión total que coincide con la longitud de onda utilizada.

Elementos ópticos típicos

Proporcionamos elementos ópticos, mecanismos de ajuste, recipientes de vacío, etc. según sus necesidades.

  Elementos ópticos típicos
elemento de condensación EUV/espejo de rayos X blando, espejo de rayos X duro, placa de zona de Fresnel, espejo toroidal, lente de condensación de luz ultravioleta
elemento espectroscópico Rejilla de transmisión EUV, espejo dicroico EUV, polarizador multicapa de rayos X suave
elemento de conformación de haz Tope del haz central de rayos X, orificio estenopeico de rayos X, hendidura de rayos X
elemento divisor de haz Divisor de haz multicapa EUV
Espectrómetro/detector EUV/espectrómetro/fotodetector de rayos X, contenedor de filtro de rayos X

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