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Espejo toroidal EUV

Proporcionamos espejos toroidales de alta precisión para regiones EUV, VUV y rayos X suaves.

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rasgo

画像
Espejo toroidal, revestimiento B4C
Los espejos toroidales de incidencia rasante se utilizan en sistemas experimentales que requieren un enfoque armónico de alto orden de banda ancha, como la ciencia de attosegundos. Los espejos toroidales de NTT-AT son utilizados por investigadores de muchas universidades e institutos de investigación debido a sus formas y diversos revestimientos que pueden adaptarse a sus necesidades.
Los espejos toroidales de incidencia directa se pueden utilizar en sistemas experimentales donde las aberraciones con espejos esféricos son un problema. Dependiendo de sus condiciones de uso, puede elegir entre recubrimientos multicapa EUV de alta reflectancia, banda ancha o banda estrecha.

Ejemplo de producción

制作例画像
Largo 200 mm x Ancho 30 mm, Recubrimiento de Au,
Ángulo de incidencia oblicuo 3 grados
制作例画像
Largo 140 mm x Ancho 30 mm, Recubrimiento PT,
Ángulo de incidencia oblicuo 2 grados

Ejemplo de recubrimiento

グラフ
      Recubrimiento multicapa Mo/Si, ángulo de incidencia 45 grados
 
グラフ
      Recubrimiento de una sola capa Au, ángulo de incidencia oblicuo de 3 grados
 

Especificaciones típicas

Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.

  Especificaciones típicas
Longitud máxima del espejo 200 mm
radio mínimo de curvatura 10 mm
Precisión de la forma del tablero λ/4 PV @633 nm
Material de revestimiento multicapa Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
Material de revestimiento de una sola capa Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C

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