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高感度加速度センサ

極微小の加速度を検知できます。

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指先動作検知例
2019年07月23日 
加速度センサーの高感度化・低ノイズ化に成功 ~従来比で感度100倍以上、ノイズ10分の1以下~ 

特徴

NTT 研究所を通じて培った微細加工技術を応用した、 MEMS加速度センサです。*1*2
構造を工夫することで、携帯電話内蔵等の加速度センサと比べて、高感度で低いノイズ性能を実現しました。
お客様のニーズに合わせた各種形態でのご提供が可能ですのでご相談ください。(モジュール、 PKG 、 チップ)

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*1.MEMS = Microelectromechanical Systems :微小電気機械素子。
*2.特許第 5831905 号(東京工業大学様と共願)および特許第 6044041 号(東京大学様と共願)取得。


適用例

日常生活から最先端の科学技術領域まで幅広い適用が可能です。
・・・インフラ・産業系設備の健全性監視・劣化予見、人体動作モニタリング、自動車等の振動検知 等

■ 建物の構造ヘルスモニタリング

  • 基礎部 、 免震部 、 フロア 、 屋上にセンサを配置。
  • 傾きやねじれの経年観測に有用。
高感度加速度センサ適用例

■ 工場の配管ヘルスチェック

  • 工場配管やガス遮断弁などにセンサを配置。
  • 経年劣化やつまりの把握に有用。
工場内 配管点検
 

■ 心拍数・呼吸動作モニタリング

高感度加速度センサ適用例
 

仕様(例)

検出範囲  +/-2G +/-4G
検出軸 1軸(z)
モジュールノイズ性能(BW-220Hz) <20uG/√Hz <40uG/√Hz
帯域(-3dB) ~500Hz
動作電圧 3.0V - 3.6V
消費電流 <1mA
インターフェイス I2C、SPI

※ 高感度加速度センサ Data Sheet は、弊社 GLOBAL Site(英語)よりダウンロードできます。
   → High-Sensitivity Accelerometer ANT-02/ANT-04 Data sheet

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高感度加速度センサ パンフレット 1.4MB

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