形態観察

分析手法から探す

分析手法	得られる情報	適用例	面分解能
TEM 透過電子顕微鏡	断面構造	半導体素子の断面観察、FFTマッピングによる歪み解析	0.2nm
SEM 走査電子顕微鏡	表面形状観察	部品欠陥部の詳細形状観察	2nm
FIB-SEM	内在する空洞や欠陥等の情報	多孔質セラミックの欠陥解析
XRD X線回折	構造回折	物質同定、粒径測定、格子定数測定、結晶性評価	>10μm
AFM 原子間力顕微鏡	表面微小凹凸観察	シリコンのマイクロラフネス測定	数nm

分析手法と検出感度、サイズ（イメージ）

主な分析事例

• FIB-SEMによる3D再構築
• STEM-EDS, -EELSによる原子スケールでの元素マッピング
• カーボンナノチューブのHRTEM観察
• Si表面の単原子ステップの断面構造観察
• 金属材料のTEM観察
• 電子回折による結晶性評価