Si表面を高真空中熱処理すると、処理条件に応じて単原子のステップやステップが集まった(バンチング)段差が生じます。ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。
写真はバンチングによって生じた階段構造を、高分解能で観察した例です。
![段階構造50nm](https://keytech.ntt-at.co.jp/material/p1003.gif)
![段階構造2nm](https://keytech.ntt-at.co.jp/material/p1003_1.gif)
Si表面を高真空中熱処理すると、処理条件に応じて単原子のステップやステップが集まった(バンチング)段差が生じます。ステップ、段差はSTMやAFMあるいは、表面SEMで観察されますが、注意深く作製した断面試料を高分解能TEM観察することによりステップの断面構造を原子オーダで観察することができます。
写真はバンチングによって生じた階段構造を、高分解能で観察した例です。