rasgo
espejo dicroico EUV
Para utilizar eficientemente la luz EUV generada por la generación de armónicos de alto orden, es necesario separar la luz de bomba de alta intensidad que se propaga coaxialmente con la luz EUV.
El espejo dicroico EUV NTT-AT refleja la luz EUV de banda ancha y evita el reflejo de la luz de la bomba visible o del infrarrojo cercano con un alto umbral de daño en comparación con los filtros de película delgada y los separadores de haz angular de Brewster.
Además de los productos estándar para antirreflejo de 800 nm, también ofrecemos productos personalizados basados en la longitud de onda deseada, el tamaño del espejo y el ángulo de incidencia. También ofrecemos productos con recubrimiento de doble cara para el acoplamiento de vigas.
El espejo dicroico EUV NTT-AT refleja la luz EUV de banda ancha y evita el reflejo de la luz de la bomba visible o del infrarrojo cercano con un alto umbral de daño en comparación con los filtros de película delgada y los separadores de haz angular de Brewster.
Además de los productos estándar para antirreflejo de 800 nm, también ofrecemos productos personalizados basados en la longitud de onda deseada, el tamaño del espejo y el ángulo de incidencia. También ofrecemos productos con recubrimiento de doble cara para el acoplamiento de vigas.
Mercancías estándar
Perfil de reflexión EUV DM20/800-2002
Perfil de reflexión de DM30/800-2002
Las especificaciones estándar del producto son las siguientes.
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| ángulo oblicuo | 12 grados | |
| Polarización | p-polarizado | |
| Anti-reflejo | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| reflectancia UVE | 60% a 20nm | 40% a 30nm |
| Tipo de sustrato |
cuarzo
|
|
| Talla | 50,8 mm de diámetro, 5,08 mm de espesor | |
| reverso | acabado de arena | |
Ejemplo de diseño de producto a medida
Espejo dicroico para longitud de onda 3 nm (ángulo de incidencia oblicuo 3 grados). Antirreflectante: <30 % a 1,5 μm.
Diseñaremos el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.
| Especificaciones típicas hechas a medida | |
|---|---|
| Longitud máxima del tablero | 300 mm |
|
Banda de alta reflexión
|
3nm - 120nm |
| longitud de onda antirreflectante | 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1,5 μm |
| Polarización |
s-polarizado, p-polarizado
|
| reverso | revestido, acabado arena |
Descargar materiales
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (inglés, white paper) | 348KB | descargar |
|---|
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