rasgo
Polarizador multicapa W/B4C
En la región EUV y la región de rayos X suaves, donde el índice de refracción del material es cercano a 1, el ángulo de Brewster es de alrededor de 45 grados. Por lo tanto, el espejo multicapa para uso alrededor de 45 grados tiene una alta reflectancia sólo para luz s-polarizada y también funciona como polarizador. Utilizando esta característica, ofrecemos polarizadores multicapa con eficiencia suficiente desde aproximadamente 30 eV a 800 eV (1,5 nm - 40 nm).
Estos polarizadores multicapa se utilizan no sólo para experimentos de propiedades físicas utilizando radiación sincrotrón y armónicos de alto orden, sino también para investigación básica para aplicaciones industriales como la litografía EUV.
Estos polarizadores multicapa se utilizan no sólo para experimentos de propiedades físicas utilizando radiación sincrotrón y armónicos de alto orden, sino también para investigación básica para aplicaciones industriales como la litografía EUV.
Ejemplo de diseño
Línea continua: luz polarizada s, línea discontinua: luz polarizada p
Polarizador para energía 60 eV
Polarizador para energía 90 eV
Polarizador para energía dependiente 150 eV
Polarizador para energía 300 eV
Especificaciones típicas
Diseñaremos la forma del sustrato y el recubrimiento de acuerdo a su solicitud.
| Especificaciones típicas | |
|---|---|
| tamaño base | 10 mm x 10 mm x 1 mm de espesor |
| Material de sustrato | Si |
| material multicapa | SiC/Mg, Zr/AlSi, Mo/Si, Ru/B4C, W/B4C |
| Rango de energía compatible | 30 eV - 800 eV |
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