rasgo
Imagen SEM del gráfico de rayos X
La microscopía de rayos X se aplica como método de obtención de imágenes de alta resolución en diversos campos, pero para la evaluación se requieren gráficos con una resolución suficientemente alta. Los gráficos de rayos X de NTT-AT, que tienen patrones absorbentes de tantalio (Ta) de alta definición formados en membranas de SiC y SiN, se utilizan para la evaluación de la resolución en instalaciones de radiación sincrotrón en todo el mundo.
Dependiendo de su aplicación, puede elegir entre tres tipos: tipo estándar, tipo de película gruesa de alta resolución y tipo de resolución ultra alta. También ofrecemos cartas reflectantes para la región EUV.
Dependiendo de su aplicación, puede elegir entre tres tipos: tipo estándar, tipo de película gruesa de alta resolución y tipo de resolución ultra alta. También ofrecemos cartas reflectantes para la región EUV.
Especificaciones estándar del producto
| artículo | Tipo estándar XRESO-100 |
Tipo de alta resolución de película gruesa XRESO-50HC |
Tipo de súper alta resolución XRESO-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| patrón | Amortiguador | Ta, 1,0 µm de espesor | Ta, 500 nm de espesor | Ta, 100 nm de espesor |
| dimensión mínima | 100nm | 50 nm | 20 nm (patrón radial) | |
| área de patrón | 250 µm×350 µm |
300 µm×300 µm
|
||
| membrana | Ru (20 nm)/SiN (2 µm) | Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm) | ||
| sustrato | Material/forma exterior | Si, 10 mm×10 mm | ||
| Espesor | 1 mm | 0.625 mm | ||
(a) Gráfico de rayos X (b) Membrana de Ru/SiN (c) Sustrato de Si (d) Absorbedor de Ta
*Las especificaciones enumeradas están sujetas a cambios sin previo aviso debido a mejoras del producto. tenga en cuenta que.
Imagen SEM de patrón representativo
patrón radial
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Patrón de agujeros de 100 nm
(XRESO-20)
(XRESO-20)
Patrón de línea y espacio de 50 nm
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Patrón de línea y espacio de 50 nm
(XRESO-50HC)
(XRESO-50HC)
diseño de patrón
Tipo de súper alta resolución XRESO-20
①Patrón radial, ②Patrón de orificios de 100 nm, ③Patrón de línea y espacio de 50 nm
①Patrón radial, ②Patrón de orificios de 100 nm, ③Patrón de línea y espacio de 50 nm
Película gruesa de alta resolución tipo XRESO-50HC
①Patrón radial, ②Patrón lineal y espacial de 50 nm
①Patrón radial, ②Patrón lineal y espacial de 50 nm
Tipo estándar XRESO-100
Ejemplo de imagen
Equipo de inspección: Token TUX-5000F, tabla: XRESO-50HC
(Cortesía de Token Co., Ltd.)
(Cortesía de Token Co., Ltd.)
Ejemplo de fabricación de gráficos personalizados
Carta reflectante para EUV
Película multicapa: Mo/Si para longitud de onda 13,5 nm, absorbente: Ta
Película multicapa: Mo/Si para longitud de onda 13,5 nm, absorbente: Ta
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