Échelle de mesure de longueur

• Idéal pour l'étalonnage de la longueur et de l'angle des microscopes à sonde à balayage, etc. Essentiel pour l'évaluation fine du motif
• Petit prix et délai de livraison court

* Nous acceptons également les commandes spéciales pour les motifs ultra-fins avec un pas de 100 nm ou moins.

Caractéristiques/Spécifications

	Type vertical (AS100P-D)	Type incliné (AS200P-A)
Usage	Étalonnage de la longueur, évaluation de la forme de la sonde	calibrage d'angle
caractéristique	Etant donné que la gravure anisotrope est utilisée sur un substrat Si(110), la forme du motif est verticale et précise. Une mesure précise de la forme de la sonde est possible grâce au degré élevé d'orthogonalité	Étant donné que la gravure anisotrope est utilisée sur un substrat Si (100), l'angle d'inclinaison du motif est précis à 54,7 degrés. Angle d'inclinaison précis de 54,7 degrés, idéal pour confirmer la reproductibilité de l'appareil
angle d'inclinaison	90 degrés	54,74 degrés
Type de motif	1:1 L&S (concave en dehors de la zone du motif)	400 nm L&S Grille de 400 nm 200 nm L&S 100 nmL&S ou plus 4 types
Largeur de ligne (convexe)	50-250 nm	100-400 nm
profondeur du motif	125nm±20%	100-200 nm (prêt à l'emploi)
zone de motif	200μm × 200μm	184μm × 184μm × 4 (graine)
substrat	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt

*Nous offrons des prix bas et des délais de livraison courts. N'hésitez pas à nous contacter.

Type vertical (AS100P-D)

Type incliné (AS200P-A)

Image d'observation AFM(unité : direction horizontale : μm, direction verticale : nm)

Exemple de commande personnalisée

Image MET