- Nous avons rendu possible la mesure des tailles fines des faisceaux d' électrons, des faisceaux d'ions et des rayons X.
- nm.La largeur du faisceau peut être mesurée en
- Pour les mesures 1D et 2Dsont disponibles.
(a) Structure d'échelle et
(b) Intensité du faisceau d'électrons transmis
(b) Intensité du faisceau d'électrons transmis
Exemple de mesure de la taille d'un faisceau d'électrons
Les références:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
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