分子状汚染物質調査　クリーンルームエアの分析

クリーンルーム空気中の分子状汚染物質（AMC）の調査を行います。

高感度なICP-MS、イオンクロマトグラフ、ガスクロマトグラフ質量分析を用いてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質（AMC：Airborne Molecular Contaminant）について評価します。

酸性ガス	F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、SO42-、PO43-、有機酸（酢酸、ギ酸）
塩基性ガス	NH4+、代表的なアミン（シクロヘキシルアミン、 モルホリン、メチルアミン類、 エチルアミン類、2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール　など）
凝縮性有機物質	フタル酸エステル類、シロキサン類、リン酸エステル類、アジピン酸エステル類、 フェノール系酸化防止剤　など
ドーパント類	B、P　など
金属	Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn　など

クリーンルームエアサンプリングの様子

クリーンルームエアのイオンクロマトグラム　[測定例]

 

• 陰イオンクロマトグラフ分析から、レジスト溶剤や建築部材由来と考えられる酢酸イオン（CH₃COO^-）やギ酸イオン（HCOO^-）、外気由来と考えられる亜硝酸イオン（NO₂^-）、硝酸イオン（NO₃^-）や硫酸イオン（SO₄^2-）が検出されました。
• 陽イオンクロマトグラフ分析から、外気・作業員・各種材料由来と考えられるアンモニウムイオン（NH₄⁺）やボイラーの清缶剤由来と考えられる2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール（（CH_{3） 2}C（NH_3）⁺CH₂OH）が検出されました。

クリーンルームエアのGC-MSチャート　[測定例]

 

吸着管捕集法によるGC-MS分析の結果です。

• 外気、レジストなどの薬品、建築・装置構成材料由来と考えられるトルエン、エチルベンゼン、キシレンなどの低沸点化合物が検出されました。
• ベンズアルデヒドやデカン（C₁₀）・ウンデカン（C₁₁）などの中沸点化合物が検出されました。
• 可塑剤由来と考えられるフタル酸ジメチル（DMP）やフタル酸ジ-2-エチルヘキシル（DOP）などの高沸点化合物が検出されました。