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各種部材の金属・イオンの溶出試験

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溶液と接触させて使用する各種部材では、厳密な管理が求められます。その用途によって、微量の金属やイオン成分の溶出が、歩留まりの低下や腐食などの不具合を起こす原因となるためです。
このような部材や製品を、実使用環境(例:温度、時間、溶液の種類等)下で試験し、溶出する金属やイオン成分の種類や濃度を評価する「溶出試験」の実施は重要です。

NTT-ATでは、お客様のご要望に応じた各種条件にて、溶出試験を実施いたします。

特徴 ・ 半導体分析によって培った微量分析技術を生かし、高感度分析が可能(ppt~ppb)
・ 清浄なクリーンルーム内で試験を実施するため、異物混入のリスクが極めて低い
・ 高感度分析を短納期で実施
用途 ・ 半導体や電子部品材料から溶出する微量金属とイオン成分の把握
・ 容器、手袋、袋、チューブ、コネクタ、テープ 等の溶出状況の把握
ここでは、各種部材の金属・イオンの溶出試験として、二つの評価事例をご紹介します。

評価事例1 金属の溶出試験(ICP-MSによる分析事例)

新品のコネクタに希酸を入れた時に溶出した金属元素(Na、Al、Cr、Fe、Zn)を分析した事例です。繰り返し試験を行うと、各元素とも溶出量(液中濃度)が下がっていきました。洗浄以前の部材からは元素の溶出が起こることがあるため、使用前の洗浄と確認試験(溶出試験)は重要です。
 

希酸とICP-MS機器の写真前処理(希酸)                                    ICP-MS   
グラフ
   コネクタから溶出した金属の分析例

評価事例2 イオンの溶出試験(ICによる分析事例)

メーカー・材質の異なる市販ビニール袋に超純水を入れ、溶出した陰イオン成分を分析した事例です。検体Aからは硫酸イオンが検出されましたが、検体Bからは検出されませんでした。使用する部材からイオン成分が溶出しないかについて事前に確認することは、歩留まりの低下や腐食などの不具合を起こさないためにも極めて大切です。
 

超純水とIC機器の写真
             前処理(超純水)                                   IC
グラフ
         ビニール袋から溶出したイオンの分析例

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グループ会社のNTT-ATクリエイティブ社と連携して、各種部材や製品の精密洗浄から分析評価までをワンストップで実施できます。
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