弊社は、濃縮分析可能な高感度な装置を、クリーンルーム内に設置しておりますので、 pptレベルの極微量イオン種の分析が可能です。
イオンクロマトグラフ分析 (IC)とは？
極微量イオン種の分析
イオンクロマトグラフとは、イオン交換樹脂に対するイオンの吸着力の差を利用して、分離・定量を行なう装置です。液体試料（水溶液）中のppbレベルの各種イオン（陽イオン、陰イオン、低級有機酸、低級アミン類、など）を高感度に分析することができます。固体試料、気体試料は、各種前処理（燃焼法、抽出法や液体捕集法など）を行うことで分析することがきます。適用例
- 純水中ｲｵﾝ成分
- ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ等環境中ガス成分
- 基板表面イオン成分
- 部材の溶出・含有量（ハロゲン、硫黄）
- 腐食性成分の評価
測定可能なイオン
-
陽イオン（カチオン）：
リチウム、ナトリウム、アンモニウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、など -
陰イオン（アニオン） ：
フッ化物、塩化物、亜硝酸、臭化物、硝酸、硫酸、リン酸、など -
低級有機酸 ：
酢酸、ギ酸、乳酸、シュウ酸、クエン酸、など -
低級アミン類 ：
メチルアミン類、エチルアミン類、エタノールアミン類、 2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール、シクロヘキシルアミン、モルホリン、など
陰イオンと有機酸の混合標準溶液のイオンクロマトグラム
分析事例のご紹介
| 分析事例１ |
基板表面に付着したイオン成分の評価 クリーンルームエア中に存在する酸性ガス 及び 塩基性ガスが、シリコンウエハやフォトマスク基板表面に付着することで、金属配線の腐食やヘイズ（曇り）を引き起こします。 とりわけ、半導体デバイスの微細化に伴い、半導体集積回路やリソグラフィ工程におけるレチクルのヘイズ（曇り）が大きな問題となり、基板表面に付着したイオン成分の評価の重要性が高くなっています。 |
原理
溶離液（移動相）中に注入された試料は､イオン交換樹脂を充填した分離カラム（固定相）によって分離されます。 サプレッサで溶離液（移動相）のバックグラウンドを低減させた後、検出器で伝導度を測定して各種イオンの濃度を定量します。また、溶出時間（保持時間）はイオン種毎に異なるため、保持時間からイオン種を定性します。
イオンクロマトグラフの装置構成図
課題解決
高感度なICP-MS、イオンクロマトグラフ、ガスクロマトグラフ質量分析を用いてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質（AMC：Airborne Molecular Contaminant）について評価します。
クリーンルーム大気中の微量な未知イオンについて評価します。
閉じる