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纳米压印技术正在加速应用于各个领域。我们提供各种研究、开发、应用、产品化步骤所需的纳米压印模具。
作为半导体微细加工技术的应用，我们提供纳米压印模具已有 20 多年的历史。在此期间，我们得到了众多客户的指导，在提供1000多个模具方面拥有丰富的经验。
我们收到了来自半导体、光学、IT、生物和医疗等广泛领域的大学、研究机构、公司和客户的订单。
纳米压印模具的微细加工技术及制造技术
■模具材料
可指定石英、硅、SiC、Ni等与您的纳米压印相对应的材料。
■极细
从最小20 nm图案到μm级。高纵横比也是可能的。
■图案
支持从单一模式重复排列到电路模式等复杂模式。
■多级差模式
我们还提供用于全息图等的多层次台阶图案。
■三维形状
加工各种形状，包括微镜阵列 (MLA) ，防反射体 (莫氏结构) ，逆方锤图案。
■高形状精度
关于加工形状，也被评价为切边很好。通过侧壁控制的锥度、反锥度形状的微细构造也可以对应。请商量。
纳米压印用模具制作委托流程
首先请咨询
在定制模具中，事先的会议非常重要。首先请联系客人您的希望和印象。对于详细的咨询和问题，我们也会认真回答。
定制模制精细图案加工示例
这是NTT-AT对各种形状和尺寸的纳米压印模具进行微细加工的一个例子。请随时就您所需的图案、基材类型等与我们联系。
| 极细图形 | 高宽高比模式 |
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| 多级模式 | V沟型、断路型图案 |
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八级模式 |
1μm间距V形槽 |
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| 锥形图案 (Moth-eye结构) | 球面图案 (微透镜) |
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八级模式 |
1μm, Zag 0.3μm |
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| 四角锥图形 | 深堀图案 |
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四角锥形阵列 |
高40μm圆柱模式 |
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特写