SIMS、AES、XPS、XRF分析などの深さ方向分解能評価・距離測定・感度評価に用いられる多層膜標準試料です。
ご希望の材料組み合わせ、膜厚、層数の標準試料をご提供させていただきます。
作製例
Si/BN多層膜試料
- SIMS分析などの深さ方向分析に利用される積層膜試料です。
- 一定周期の多層膜試料の他に、非周期的な多層膜試料にもご対応致します。
- 極薄BN層（～0.01nm）の形成も可能です。
TEMによる断面構造評価例
Si/BN多層膜構造模式図
SIMS深さ方向分析例
AFMによる表面粗さ測定例
Si/Mo多層膜試料
Si/Mo多層膜試料
Si/Mo多層膜構造模式図
AES測定
AES分析評価例
各種積層試料
- 各種材料の積層膜にご対応いたします。
- 下図は、種類の異なる４種類の材料を積層した試料例です。
TEMによる断面構造評価例と模式図
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