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Standardprobe für die Tiefenrichtungsanalyse

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Es handelt sich um eine mehrschichtige Filmstandardprobe, die zur Bewertung der Tiefenrichtungsauflösung, Abstandsmessung und Empfindlichkeitsbewertung wie SIMS-, AES-, XPS- und XRF-Analyse verwendet wird.
Wir stellen Ihnen ein Standardmuster Ihrer gewünschten Materialkombination, Folienstärke und Anzahl der Schichten zur Verfügung.

Produktionsbeispiel

Si/BN-Mehrschichtfilmprobe

  • Dies ist eine laminierte Folienprobe, die für Tiefenrichtungsanalysen wie SIMS-Analysen verwendet wird.
  • Neben periodischen mehrschichtigen Folienmustern unterstützen wir auch nicht periodische mehrschichtige Folienmuster.
  • Es ist auch möglich, eine ultradünne BN-Schicht (~0,01 nm) zu bilden.
TEMによる断面構造評価例
Beispiel für die Bewertung der Querschnittsstruktur durch TEM
Si/BN多層膜構造模式図
Schematisches Diagramm der Si/BN-Mehrschichtstruktur
SIMS深さ方向分析例
Beispiel einer SIMS-Tiefenprofilanalyse
AFMによる表面粗さ測定例
Beispiel einer Oberflächenrauheitsmessung durch AFM

Si/Mo-Mehrschichtfilmprobe

Si/Mo多層膜試料
Si/Mo-Mehrschichtfilmprobe
Si/Mo多層膜構造模式図
Schematische Darstellung der Si/Mo-Mehrschichtstruktur
AES測定
AES-Messung
AES分析評価例
Beispiel für die Auswertung der AES-Analyse

Verschiedene laminierte Muster

  • Wir können Verbundfolien aus verschiedenen Materialien verarbeiten.
  • Die folgende Abbildung ist ein Beispiel für ein Muster, bei dem vier verschiedene Arten von Materialien laminiert sind.
TEMによる断面構造評価例と模式図
TEMによる断面構造評価例と模式図

Beispiel für die Bewertung der Querschnittsstruktur und schematisches Diagramm durch TEM

 

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