Längenmessskala

• Ideal für die Längen- und Winkelkalibrierung von Rastersondenmikroskopen usw. Unverzichtbar für die Auswertung feiner Muster
• Niedriger Preis und kurze Lieferzeit

* Wir akzeptieren auch Sonderbestellungen für ultrafeine Muster mit einem Abstand von 100 nm oder weniger.

Merkmale/Spezifikationen

	Vertikaler Typ (AS100P-D)	Geneigter Typ (AS200P-A)
Verwendungszweck	Längenkalibrierung, Sondenformauswertung	Winkelkalibrierung
Besonderheit	Da anisotropes Ätzen auf einem Si(110)-Substrat verwendet wird, ist die Musterform vertikal und genau. Aufgrund des hohen Grades an Orthogonalität ist eine genaue Messung der Sondenform möglich	Da anisotropes Ätzen auf einem Si(100)-Substrat verwendet wird, ist der Neigungswinkel des Musters genau bei 54,7 Grad. Genauer Neigungswinkel von 54,7 Grad, ideal für die Bestätigung der Reproduzierbarkeit von Geräten
Neigungswinkel	90 Grad	54,74 Grad
Muster-Art	1:1 L&S (konkav außerhalb des Musterbereichs)	400 nm L&S 400-nm-Raster 200 nm L&S 100 nmL&S oder mehr 4 Typen
Linienbreite (konvex).	50-250nm	100-400nm
Mustertiefe	125nm±20%	100–200 nm (Standard)
Musterbereich	200 μm × 200 μm	184 μm × 184 μm × 4 (Saat)
Substrat	Si 10 mm × 10 mm × 0,525 mmt	Si 10 mm × 10 mm × 0,525 mmt

*Wir bieten günstige Preise und kurze Lieferzeiten. Sie können uns gerne kontaktieren.

Vertikaler Typ (AS100P-D)

Geneigter Typ (AS200P-A)

AFM-Beobachtungsbild(Einheit: horizontale Richtung: μm, vertikale Richtung: nm)

Kundenspezifisches Bestellbeispiel

TEM-Bild