- Wir haben es möglich gemacht, die feinen Strahlgrößen von Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen und Röntgenstrahlen zu messen.
- nm-Einheiten gemessen werden.Die Strahlbreite kann in
- 1D- und 2D-Messungensind verfügbar.
(a) Skalenstruktur und
(b) Intensität des übertragenen Elektronenstrahls
(b) Intensität des übertragenen Elektronenstrahls
Beispiel für die Messung der Elektronenstrahlgröße
Verweise:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34（1995）6940
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