Es una muestra estándar de película multicapa utilizada para la evaluación de la resolución de la dirección de profundidad, la medición de la distancia y la evaluación de la sensibilidad, como análisis SIMS, AES, XPS y XRF.
Le proporcionaremos una muestra estándar de la combinación de materiales deseada, el grosor de la película y el número de capas.
Ejemplo de producción
Muestra de película multicapa Si/BN
- Esta es una muestra de película laminada utilizada para el análisis de dirección de profundidad, como el análisis SIMS.
- Además de las muestras de películas multicapa periódicas, también manejamos muestras de películas multicapa no periódicas.
- También es posible formar una capa ultrafina de BN (~0,01 nm).
Ejemplo de evaluación de estructura transversal por TEM
Diagrama esquemático de estructura multicapa Si/BN
Ejemplo de análisis de perfil de profundidad SIMS
Ejemplo de medición de rugosidad superficial por AFM
Muestra de película multicapa Si/Mo
Muestra de película multicapa Si/Mo
Diagrama esquemático de la estructura multicapa de Si/Mo
medición AES
Ejemplo de evaluación de análisis AES
Varias muestras laminadas
- Podemos manejar películas laminadas de varios materiales.
- La siguiente figura es un ejemplo de una muestra en la que se laminan cuatro tipos diferentes de materiales.
Ejemplo de evaluación de estructura transversal y diagrama esquemático por TEM
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