0.1ｍｍピッチ4探針プローブ

探針間隔0.1ｍｍの４探針電気抵抗測定プローブです。
空間分解能を，従来プローブに比べ１ケタ向上させ，サブミリ領域の電気抵抗測定を可能にしました。
パターニングせずに薄膜材料の抵抗測定が可能です。

測定方式

直流4探針

空間分解能

約0.5ｍｍ

標準探針

Si用WC探針（測定対象素材に応じてご相談を承ります）

測定対象

各種半導体膜、金属膜の他、導電性塗布膜、透明導電膜、粉末冶 金材料、傾斜機能材料など各種導電性材料。
 

 

5mm角の一様な抵抗値のポリシリコン薄膜の測定例です。
従来のピッチプローブでは正確な値が測定できないのに対して、開発した0.1mmピッチプローブでは周辺0.5mm程度の領域を除いて、正確なシート測定が可能です。

 

本プローブは通常の測定系(電流源、電圧計）がそのままご利用いただけます。本プローブ専用の簡易測定治具や手動測定装置も用意しています。本プローブは平坦なシリコンや金属膜などの測定用ですが、特殊用途の測定プローブ作成に関してもご相談に応じます。

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