非破壊で簡単に組成を調べることができます。
こんな時にご利用ください！
- もっと早く調べたい。
- 非破壊で多元素を同時に迅速な結果を得ることが出来ます。
- 何か分からないけれど、どんなものか調べたい。
- 試料中の元素（Be～U）を組成(wt%)から不純物(0.01wt%)まで調べることができます。
- 材料作製の工程管理をしたい。
- 繰り返し精度の良い分析(～数%)です。
蛍光X線分析法とは？
蛍光X線分析法は、固体、液体試料の元素の定性・定量分析を行うことができます。 X線を照射し、試料から出てくる元素固有の特性X線を検出することで、試料中の元素を組成から不純物レベルまで調べることができ、非破壊で迅速な分析が可能です。
蛍光X線の発生機構
蛍光X線の発生
X線管から発生した一次X線が物質に照射されると内殻電子が殻外に放出され、空孔ができ、原子が不安定状態になります。
安定化のため外殻電子が空孔に入り、そのエネルギー差に相当するX線が放出されます。
安定化のため外殻電子が空孔に入り、そのエネルギー差に相当するX線が放出されます。
これを蛍光X線といいます。
試料から発生した蛍光X線のエネルギー値とその量から元素の定性・定量を行うことができます。
試料から発生した蛍光X線のエネルギー値とその量から元素の定性・定量を行うことができます。
検出器の構成
エネルギー分散型検出器の構成
1. エネルギー分散型検出器
半導体検出器により蛍光X線を測定し，マルチチャンネルアナライザで得られた蛍光X線のエネルギーと強度を解析します。
短時間で多元素を定性・定量できます。
半導体検出器により蛍光X線を測定し，マルチチャンネルアナライザで得られた蛍光X線のエネルギーと強度を解析します。
短時間で多元素を定性・定量できます。
波長分散型検出器の構成
2. 波長分散型検出器
蛍光X線を単結晶（分光結晶）で回折し、検出器をローランド円周上で掃引して測定することで高いエネルギー分解能が得られます。
エネルギー分散型では難しい希土類元素が混在する様な蛍光X線ピークのエネルギーが近接するケースに適しています。
蛍光X線を単結晶（分光結晶）で回折し、検出器をローランド円周上で掃引して測定することで高いエネルギー分解能が得られます。
エネルギー分散型では難しい希土類元素が混在する様な蛍光X線ピークのエネルギーが近接するケースに適しています。
例えば、こんな分野にお使いいただけます。
- 不明物質の元素調査
- RoHSなど有害物質のスクリーニング
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薄膜試料の組成分析・膜厚測定
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