クリーンルーム空気中の分子状汚染物質(AMC)の調査を行います。
高感度なICP-MS、イオンクロマトグラフ、ガスクロマトグラフ質量分析を用いてクリーンルーム大気中の分子状汚染物質(AMC:Airborne Molecular Contaminant)について評価します。
酸性ガス | F-、Cl-、NO2-、Br-、NO3-、SO42-、PO43-、有機酸(酢酸、ギ酸) |
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塩基性ガス |
NH4+、代表的なアミン(シクロヘキシルアミン、 モルホリン、メチルアミン類、 エチルアミン類、2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール など) |
凝縮性有機物質 |
フタル酸エステル類、シロキサン類、リン酸エステル類、アジピン酸エステル類、 フェノール系酸化防止剤 など |
ドーパント類 | B、P など |
金属 | Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn など |
クリーンルームエアサンプリングの様子
インピンジャー捕集
(酸性ガス、塩基性ガス、ドーパント類、金属が対象の捕集方法)
吸着管捕集
(凝縮性有機物質が対象の捕集方法)
(凝縮性有機物質が対象の捕集方法)
クリーンルームエアのイオンクロマトグラム [測定例]
陰イオン
陽イオン
- 陰イオンクロマトグラフ分析から、レジスト溶剤や建築部材由来と考えられる酢酸イオン(CH3COO-)やギ酸イオン(HCOO-)、外気由来と考えられる亜硝酸イオン(NO2-)、硝酸イオン(NO3-)や硫酸イオン(SO42-)が検出されました。
- 陽イオンクロマトグラフ分析から、外気・作業員・各種材料由来と考えられるアンモニウムイオン(NH4+)やボイラーの清缶剤由来と考えられる2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール((CH3) 2C(NH3)+CH2OH)が検出されました。
クリーンルームエアのGC-MSチャート [測定例]
吸着管捕集法によるGC-MS分析の結果です。
- 外気、レジストなどの薬品、建築・装置構成材料由来と考えられるトルエン、エチルベンゼン、キシレンなどの低沸点化合物が検出されました。
- ベンズアルデヒドやデカン(C10)・ウンデカン(C11)などの中沸点化合物が検出されました。
- 可塑剤由来と考えられるフタル酸ジメチル(DMP)やフタル酸ジ-2-エチルヘキシル(DOP)などの高沸点化合物が検出されました。