誘導結合プラズマ発光分光分析法 ICP-AES

材料開発ご担当の方へ
発光線の波長と強度から元素の種類・量を調べることができます！

例えば、こんな分野にお使いいただけます。

薄膜の組成分析・バルクの組成分析・不純物分析　

鉄鋼、非鉄金属、セラミックス、石油化学、半導体、電池材料など

環境試料中の元素分析

水質、土壌、大気粉じんなど

発光線の波長と強度から元素の種類・量を調べることができます！

溶液中の無機元素の定性と定量を行うことができます。
また、化学的な前処理を行い溶液化するため、物理的な手法を用いる機器分析に比べて、信頼性の高い定量結果が得られます。

分析の流れ図

発光した発光線の波長から元素の種類を同定し、発光強度から元素の量を調べることができます。

分析事例

分析事例１　薄膜材料（BPSG膜）の組成分析

ICP発光分光分析（ICP-AES）応用例 BPSG膜の高精度な評価ができます！

薄膜の組成を精度良く、絶対量を評価できます。

薄膜の平均的な組成情報を得る事ができます。

蛍光X線分析、IR分析などの簡易測定の標準試料の分析に活用できます。

分析手順

1. 試料切断ウエハより適切な大きさ （9cm²程度）を分析用に切出す
2. 膜溶解 （+添加剤）と加熱濃縮B、Siの揮散を防ぐ添加剤と共にBPSG膜を溶解・濃縮
3. 定容とICP-AES測定 試料溶液をICP-AESによるB、P、Siを測定

高精度：蛍光X線分析との相関が高い

下図は蛍光X線分析とICP-AES分析の相関図です。 繰り返し測定精度の高い蛍光X線分析と絶対量の得られるICP-AES分析の結果は、一次関数の直線上に乗る良好な結果が得られています。
層間絶縁膜であるBPSG（Boron Phosphor Silicate Glass）膜の組成は組成はリフローによる熱特性に大きく影響を及ぼすことから、精度の高いICP-AES分析は膜組成の評価に適しています。