ウエハ汚染評価事例4
-ウエハへの転写によるクリーンルーム用部材の汚染評価-

手袋を代表とするクリーンルーム用部材は、数多くの種類が市販されています。しかしながら、材質やグレード等に注意し、選定しなければ、製品を汚染させる恐れがあります。そのため、クリーンルーム用部材を使用する以前に、汚染評価されることをお勧めします。

ここでは、クリーンルームで使用する手袋について、シリコンウエハへ汚染を転写させて、気相分解法（VPD）-誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）にて、評価した事例を紹介します。

汚染の転写方法

手袋は、市販のクリーンルーム用手袋を使用しました。天秤上に清浄なシリコンウエハを置き、試験対象の手袋を装着した手を約1kgの加重で1分間、手袋の表面がウエハ全面に接触するように押し当て、手袋の汚染をウエハに転写させました。

評価結果

ナトリウム（Na）、マグネシウム（Mg）、カリウム（K）、カルシウム（Ca）に加え、アルミニウム（Al）、鉄（Fe）、亜鉛（Zn）等が検出されました。
また、汚染量は、手袋間で違いがあることも確認されました。