採用自主開發的金屬積層技術制作的靜電容量型MEMS (Microelectromechanical Systems) 加速度傳感器。與普通硅MEMS加速度傳感器相比,可以大大降低器件本身的噪聲性能。 高靈敏度加速度傳感器 這是一款應用了通過NTT研究所培育的微細加工技術的MEMS加速度傳感器。通過設計結構,與內置手機等的加速度傳感器相比,實現了高靈敏度和低噪聲性能。可根據客戶的需求以各種形式提供。(模塊, PKG,芯片)