促進客戶研發，實現創意!!
敝公司硅波導制造服務的特點
根據客戶的設計制作硅波導
我們在先進加工技術支援的矽線波導平台上根據客戶設計實現超精細光電路。
*請準備圖面（GDSⅡ格式或DXF格式）。
實現硅波導與光纖陣列之間的低損耗連接
光斑尺寸轉換器，可實現與光纖等的低損耗連接，使客戶能夠進行高精度評估。配備
滿足多種設計需求
我們提供滿足客戶多樣化需求的選項，例如光學性能的精確控制以及與不同類型材料（如聚合物）的複合材料。
硅波導的制作→特性評價→到光纖安裝的無縫對應
除了製造矽波導外，我們還可以無縫響應客戶的要求，從評估光學特性到將光纖連接到芯片。
1.硅細波導-基本原型芯片生產示例-
在基於硅微細波導的平臺上，根據客戶的設計實現超微細光電路。
| 波導芯徑 | 400~500 nm寬x 220 nm厚 |
|---|---|
| 環形諧振腔 | 150納米或更高 |
| 波導區域 | 5mm×5mm |
| SS轉換芯徑 | 3μm×3μm |
| SS轉換波導間隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
2.低損耗連接:點大小轉換器
通過在波導末端附加點大小轉換，可以以低損耗連接光纖和激光器。(1.5 [dB/connection] )
Spot大小轉換器 (SSC) 結構
將光纖陣列連接到硅芯片的示例
將光纖陣列連接到硅芯片的示例
光纖陣列連接結構
光纖陣列連接結構
3.選項加工實例
- 溫控加熱器及附加佈線
- 高精度控制折射率和控制透射波長。
- 功能材料介紹
- 極化材料等功能材料的引入。
溫控極小加熱器
| 應用實例 |
|
○光開關、精密波長濾光片 |
| 客戶需求 |
|
○通過局部加熱精確控制光學特性 |
| 解決方案 |
|
了不易破損的加熱器。1使用高熔點金屬Ta薄膜，實現 2 通過高精度形狀加工實現的超細加熱器 3 通過低電阻金線佈線實現僅加熱特定部分 |
石英 (覆層) 上的Ta加熱器模式加工例
微小加熱器剖面圖
Ta加熱器圖案 (加工示例)
SEM圖像:Ta加熱器模式 (圖 (1) )
應用實例
應用實例
功能材料介紹
使用各種功能材料可以形成覆蓋。| 應用實例 |
|
○傳感器、調製器 |
| 客戶需求 |
|
○ Si波導與功能材料的雜化 |
| 解決方案 |
|
1 Si波導部分暴露結構的實現 2通過組合干法蝕刻和濕法蝕刻應用不損壞Si波導的加工 3 實現不部分形成覆層的工藝 |
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