促進客戶研發，實現創意!!
敝公司硅波導制造服務的特點
根據客戶的設計制作硅波導
高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
※ 設計図（ GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式）をご用意ください。
實現硅波導與光纖陣列之間的低損耗連接
光斑尺寸轉換器，可實現與光纖等的低損耗連接，使客戶能夠進行高精度評估。配備
滿足多種設計需求
我們提供滿足客戶多樣化需求的選項，例如光學性能的精確控制以及與不同類型材料（如聚合物）的複合材料。
硅波導的制作→特性評價→到光纖安裝的無縫對應
除了製造矽波導外，我們還可以無縫響應客戶的要求，從評估光學特性到將光纖連接到芯片。
1.硅細波導-基本原型芯片生產示例-
在基於硅微細波導的平臺上，根據客戶的設計實現超微細光電路。
| 波導芯徑 | 400~500 nm寬x 220 nm厚 |
|---|---|
| 環形諧振腔 | 150納米或更高 |
| 波導區域 | 5mm×5mm |
| SS轉換芯徑 | 3μm×3μm |
| SS轉換波導間隔 | 50μm以上 |
| 切屑尺寸 | 15mm×5.6mm |
2.低損耗連接:點大小轉換器
通過在波導末端附加點大小轉換，可以以低損耗連接光纖和激光器。(1.5 [dB/connection] )
Spot大小轉換器 (SSC) 結構
將光纖陣列連接到硅芯片的示例
將光纖陣列連接到硅芯片的示例
光纖陣列連接結構
光纖陣列連接結構
3.選項加工實例
- 溫控加熱器及附加佈線
- 高精度控制折射率和控制透射波長。
- 功能材料介紹
- 極化材料等功能材料的引入。
溫控極小加熱器
| 應用實例 |
|
○光開關、精密波長濾光片 |
| 客戶需求 |
|
○通過局部加熱精確控制光學特性 |
| 解決方案 |
|
了不易破損的加熱器。1使用高熔點金屬Ta薄膜，實現 2 通過高精度形狀加工實現的超細加熱器 3 通過低電阻金線佈線實現僅加熱特定部分 |
石英 (覆層) 上的Ta加熱器模式加工例
微小加熱器剖面圖
Ta加熱器圖案 (加工示例)
SEM圖像:Ta加熱器模式 (圖 (1) )
應用實例
應用實例
功能材料介紹
使用各種功能材料可以形成覆蓋。| 應用實例 |
|
○傳感器、調製器 |
| 客戶需求 |
|
○ Si波導與功能材料的雜化 |
| 解決方案 |
|
1 Si波導部分暴露結構的實現 2通過組合干法蝕刻和濕法蝕刻應用不損壞Si波導的加工 3 實現不部分形成覆層的工藝 |
加工圖像
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