特征
Mo/Si多層膜鏡
我們提供可高效反射光子能量為 10 eV - 1 keV（波長 120 nm - 1.2 nm）的 EUV 光的 EUV 反射鏡。這種能帶反射鏡，也稱為軟 X 射線或 XUV 光，廣泛用於 EUV 光刻等工業應用、使用高次諧波的超高速物理和化學研究、天體物理學應用、和軟X射線等離子體觀測。它是
多層鏡主要用於直入射，單層鏡用於斜入射。
多層鏡主要用於直入射，單層鏡用於斜入射。
設計示例
Mo/Si多層膜鏡，入射角0度
Ru單層膜鏡，入射角80度
代表性規格
我們會根據您的要求進行基板形狀設計和塗層設計。
| 代表性規格 | |
|---|---|
| 最大大小 | 直徑3 mm -450 mm |
| 鏡像形狀 | 平面、凹面、圓柱面、拋物面、旋轉橢圓面、環形面 |
| 多層膜材料 | Ru/B4C、Mo/Si、Zr/AlSi、SiC/Mg、W/B4C |
| 單層薄膜材料 | Ru、B4C、C、Ni、Au |
資料下載
| Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (英語white paper) | 615KB | 下載 |
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特寫