特征
衍射光柵SEM像
我們提供具有模板結構的透射型衍射光子，即使在材料吸收較大的VUV區域、EUV區域和軟X射線區域也能獲得高衍射效率。
可用於高次諧波光譜實驗、EUV區域的元件檢查/評估、X射線等離子體光譜等。除了標準的一維網格外，我們還可以根據客戶的要求提供客製化產品。
可用於高次諧波光譜實驗、EUV區域的元件檢查/評估、X射線等離子體光譜等。除了標準的一維網格外，我們還可以根據客戶的要求提供客製化產品。
設計示例
Ta/SiN2層膜型光柵的衍射效率
SiN型光柵的衍射效率
標準規格
| 構造 | Ta/SiN2層型 | SiN型 |
|---|---|---|
| 光柵尺寸 | 2 mm x 2 mm | |
| 刻線數 | 100 line/mm - 2400 line/mm | |
| 梁 | 500 nm寬、50μm間隔 (與晶格垂直方向) | |
| 衍射光柵材料 | Ta (100 nm) / SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
| 晶片 | 10毫米x 10毫米x 0.625毫米厚，Si | |
透射型光柵結構。(a) Si框， (b) 透射型衍射光柵
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特寫