特征
EUV雙色鏡
為了有效利用高次諧波產生的EUV光，需要分離與EUV光同軸傳播的高強度泵浦光。
NTT-AT的 EUV 二向色鏡反射寬帶 EUV 光，並防止可見光或近紅外泵浦光的反射，與薄膜濾光片和布魯斯特角光束分離器相比具有高損傷閾值。
除了 800 nm 增透的標準產品外，我們還提供基於所需波長、反射鏡尺寸和入射角的定制產品。我們還提供用於梁耦合的雙面塗層產品。
NTT-AT的 EUV 二向色鏡反射寬帶 EUV 光，並防止可見光或近紅外泵浦光的反射，與薄膜濾光片和布魯斯特角光束分離器相比具有高損傷閾值。
除了 800 nm 增透的標準產品外，我們還提供基於所需波長、反射鏡尺寸和入射角的定制產品。我們還提供用於梁耦合的雙面塗層產品。
標準品
DM 20/800 -2002的EUV反射剖面
DM 30/800 -2002反射配置文件
標準產品規格如下。
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| 斜入射角 | 12度 | |
| 偏振 | p偏振 | |
| 防反射 | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| EUV反射率 | 60% @ 20 nm | 40% @ 30 nm |
| 基板種類 |
石英
|
|
| 尺寸 | 直徑50.8 mm,厚5.08 mm | |
| 背面 | 砂面修整 | |
定制設計示例
波長 3 nm 的二向色鏡（傾斜入射角 3 度）。抗反射：<30% @1.5 μm。
根據您的要求進行塗層設計。
| 典型的定制規格 | |
|---|---|
| 最大基板長度 | 300 mm |
|
高反射帶
|
3 nm - 120 nm |
| 防反射波長 | 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1.5 μm |
| 偏振 |
s偏振光， p偏振光
|
| 背面 | 帶塗層，砂面拋光 |
資料下載
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (英語 white paper) | 348KB | 下載 |
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