分光、偏光用光学素子などの光学部品としてご利用いただけます。
特徴
- EB描画装置を用いた高いピッチ精度
- 斜め線，直線，ホールなど様々な形状
- パタン精度はナノオーダで制御
仕様
| ピッチ | 0.2～0.5μm |
|---|---|
| 深さ | 0.1μm～0.5μm |
| パタン領域 | 1～20mm角 |
| 材料 | Si、タンタル（Ta）、SiO2/Si、石英ガラス、金（Au） |
| 形状 | 矩形 |
適用例
斜め線
直線
0.1μｍL/S (石英／Ｔａ透過グレーティング)
石英製0.2μｍ L/S
※本カタログに記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。
※本カタログ製品をご使用の際には、仕様条件等について正しくお使い下さい。仕様条件等で保証していない使い方や改造につきましては、故障・事故の原因となります。万一保証外の仕様方法で故障・事故が発生した場合は責任を負いかねます。予めご了承下さい。
閉じる